[實用新型]蒸發率檢測系統

有效

• 申請號: 201721776820.5
• 申請日: 2017-12-18
• 公開（公告）號: CN207581925U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 張建柱;蘇育家;曾海斌;于俊峰
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 趙景平;張春雨

1.一種蒸發率檢測系統，其特征在于，包括：

電機、控制器、預設有蒸發鍍膜所需時間的計時器、用于模擬玻璃基板的檢測板、用于監測所述檢測板位置的第一位置傳感器、用于檢測蒸發率的分析平臺，以及多個轉軸；

所述轉軸排列設置在工藝腔的檢測板入口至工藝腔的檢測板出口之間，所述第一位置傳感器設置在所述轉軸旁，所述分析平臺安裝在所述檢測板出口的外側；

所述電機、所述計時器和所述第一位置傳感器分別與所述控制器電連接；

所述控制器通過所述電機驅動所述轉軸旋轉，使放置在所述轉軸上的所述檢測板行進，并且所述控制器在接收到所述第一位置傳感器發送的就位信號后，控制所述電機停轉并觸發所述計時器計時，停止行進的所述檢測板位于蒸發源的上方。

2.根據權利要求1所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述檢測板包括承載框，以及搭放在所述承載框上的檢測片；

所述承載框的尺寸與玻璃基板相同，且所述檢測片與玻璃基板的材質相同。

3.根據權利要求2所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述承載框上設有多個網格框架，所述檢測片為多個檢測單片；

每個所述網格框架上放置一片所述檢測單片。

4.根據權利要求3所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述檢測板還包括位置感應單元，所述位置感應單元設置在所述承載框的邊沿處，用于與所述第一位置傳感器感應配合。

5.根據權利要求1所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述蒸發率檢測系統還包括與所述控制器電連接的第二位置傳感器；

按照所述檢測板的行進方向，所述第二位置傳感器置于所述第一位置傳感器之前；

在第二位置傳感器感應到所述檢測板后，所述控制器控制所述電機減速。

6.根據權利要求5所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述蒸發率檢測系統還包括與所述控制器電連接的第三位置傳感器；

所述第三位置傳感器置于工藝腔的檢測板出口的內側；

在第三位置傳感器感應到所述檢測板后，所述控制器控制所述電機減速。

7.根據權利要求1～6任一項所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述轉軸為磁流體轉軸。

8.根據權利要求1～6任一項所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述電機為伺服電機。

9.根據權利要求1～6任一項所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述計時器置于所述控制器內。

10.根據權利要求2～4任一項所述的蒸發率檢測系統，其特征在于，所述承載框為耐高溫剛性金屬材質。