[實用新型]靜電放電防止裝置

有效

• 申請號: 201721773835.6
• 申請日: 2017-12-18
• 公開（公告）號: CN207603975U
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 王艷軍
• 申請（專利權）人: 張家港康得新光電材料有限公司
• 主分類號: H05F3/06
• 分類號: H05F3/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 韓建偉;謝湘寧

本實用新型提供了一種靜電放電防止裝置。該靜電放電防止裝置包括用于承載基板的基臺，靜電放電防止裝置還包括：一個或多個相互隔離的支撐件，支撐件貫穿基臺設置，用于支撐基板并將基板與基臺分離，且至少一個支撐件具有沿其延伸方向設置的通氣孔；除靜電器，用于提供電離氣體，除靜電器具有第一電離氣體出口，第一電離氣體出口與通氣孔連通，且通氣孔容許電離氣體逸出并對基板的下表面進行除靜電。由于基板在與基板分離瞬間產生的靜電極易導致基板上的敏感元件可以瞬間電擊穿報廢，而采用本申請的上述靜電放電防止裝置，能夠在基板與基臺將要分離時使電離氣體擴散至基板的表面，從而從根源解決靜電放電的產生，提高了靜電的去除效果。

技術領域

本實用新型涉及光電制造技術領域，具體而言，涉及一種靜電放電防止裝置。

背景技術

在光電制造工藝中，影響產品良率的重要因素之一為ESD(靜電放電)，ESD過高會導致產品電擊穿，造成報廢。產品一旦有電荷就會把周邊細小的粉塵吸過來，造成產品污染。周邊的粉塵一旦有電荷，電荷就會在產品上堆積，造成嚴重放電現象，導致產品報廢。目前行業內大多除ESD方式為在產品上方安放除靜電器，但是除ESD效果不理想。如圖1所示，現有技術中的靜電放電防止裝置包括基臺10＇以及貫穿基臺的支撐件20＇，支撐件用于支撐基板40＇，除靜電器30＇位于基板40＇的上方，在基板40＇與基臺10＇分離產生靜電時，通過除靜電器30＇能夠向基板40＇的上表面提供電離氣體，以去除基板40＇表面產生的靜電。

然而，上述方法去除靜電除存在以下缺點：首先，該方法只能有效的去除基板上表面的靜電；并且，由于除靜電器距離基板表面300～400mm，從而導致距離較大，靜電去除效果有待提高；此外，上述方式是在靜電發生后進行去除靜電，靜電發生對敏感元器件易造成電擊穿，沒有在靜電發生源處防止靜電發生。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種靜電放電防止裝置，以解決現有技術中的靜電放電防止裝置靜電去除效果較差的問題。

為了實現上述目的，根據本實用新型的一個方面，提供了一種靜電放電防止裝置，包括用于承載基板的基臺，靜電放電防止裝置還包括：一個或多個相互隔離的支撐件，支撐件貫穿基臺設置，用于支撐基板并將基板與基臺分離，且至少一個支撐件具有沿其延伸方向設置的通氣孔；除靜電器，用于提供電離氣體，除靜電器具有第一電離氣體出口，第一電離氣體出口與通氣孔連通，且通氣孔容許電離氣體逸出并對基板的下表面進行除靜電。

進一步地，通氣孔靠近基板的位置具有氣體逸出孔或支撐件的頂部具有與通氣孔連通的缺口。

進一步地，除靜電器的頂部具有第二電離氣體出口，用于向基板的下表面提供電離氣體。

進一步地，基臺具有貫通孔，第二電離氣體出口通過貫通孔向基板的下表面提供電離氣體。

進一步地，除靜電器位于基臺的下方，或至少部分除靜電器嵌于貫通孔中。

進一步地，除靜電器設置于支撐件上，且除靜電器隨支撐件可移動地貫穿基臺。

進一步地，除靜電器的第二電離氣體出口與支撐件的頂部的最小距離為10～20mm。

進一步地，支撐件為支撐針，且除靜電器為離子風棒。

進一步地，除靜電器的頂部具有針狀結構，第二電離氣體出口位于針狀結構上。

進一步地，在靜電放電防止裝置工作時，設置第二電離氣體出口與基板的下表面的最小距離為10～20mm。