[實用新型]靜電放電防止裝置有效
| 申請號： | 201721773835.6 | 申請日： | 2017-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN207603975U | 公開（公告）日： | 2018-07-10 |
| 發明（設計）人： | 王艷軍 | 申請（專利權）人： | 張家港康得新光電材料有限公司 |
| 主分類號： | H05F3/06 | 分類號： | H05F3/06 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 韓建偉;謝湘寧 |
| 地址： | 215634 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電放電防止裝置 基板 基臺 電離氣體 通氣孔 支撐件 電離氣體出口 除靜電 本實用新型 承載基板 除靜電器 方向設置 基板分離 靜電放電 敏感元件 支撐基板 靜電 對基板 靜電極 下表面 擊穿 去除 逸出 連通 報廢 隔離 擴散 貫穿 延伸 申請 | ||
1.一種靜電放電防止裝置，包括用于承載基板(40)的基臺(10)，其特征在于，所述靜電放電防止裝置還包括：
一個或多個相互隔離的支撐件(20)，所述支撐件(20)貫穿所述基臺(10)設置，用于支撐所述基板(40)并將所述基板(40)與所述基臺(10)分離，且至少一個所述支撐件(20)具有沿其延伸方向設置的通氣孔；
除靜電器(30)，用于提供電離氣體，所述除靜電器(30)具有第一電離氣體出口(310)，所述第一電離氣體出口(310)與所述通氣孔連通，且所述通氣孔容許所述電離氣體逸出并對所述基板(40)的下表面進行除靜電。
2.根據權利要求1所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，所述通氣孔靠近所述基板(40)的位置具有氣體逸出孔或所述支撐件的頂部具有與所述通氣孔連通的缺口。
3.根據權利要求1所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，所述除靜電器(30)的頂部具有第二電離氣體出口(320)，用于向所述基板(40)的下表面提供電離氣體。
4.根據權利要求3所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，所述基臺(10)具有貫通孔，所述第二電離氣體出口(320)通過所述貫通孔向所述基板(40)的下表面提供電離氣體。
5.根據權利要求4所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，所述除靜電器(30)位于所述基臺(10)的下方，或至少部分所述除靜電器(30)嵌于所述貫通孔中。
6.根據權利要求3所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，所述除靜電器(30)設置于所述支撐件(20)上，且所述除靜電器(30)隨所述支撐件(20)可移動地貫穿所述基臺(10)。
7.根據權利要求6所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，所述除靜電器(30)的第二電離氣體出口(320)與所述支撐件(20)的頂部的最小距離為10～20mm。
8.根據權利要求3至7中任一項所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，所述支撐件(20)為支撐針，且所述除靜電器(30)為離子風棒。
9.根據權利要求3所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，所述除靜電器(30)的頂部具有針狀結構，所述第二電離氣體出口(320)位于所述針狀結構上。
10.根據權利要求3所述的靜電放電防止裝置，其特征在于，在所述靜電放電防止裝置工作時，設置所述第二電離氣體出口(320)與所述基板的下表面的最小距離為10～20mm。
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