[實用新型]一種多晶硅生產尾氣中氯硅烷的回收系統

有效

• 申請號: 201721747593.3
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207792717U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 楊刊;馮鞏;孟昱良
• 申請（專利權）人: 河北東明中硅科技有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 賈凱

本實用新型公開了一種多晶硅生產尾氣中氯硅烷的回收系統，包括廢氣緩沖罐、變壓吸附系統、熱源、冷凝器和廢氣淋洗塔；其中變壓吸附系統包括氣體壓縮機、活性炭吸附器以及第一過濾器、第二過濾器和第三過濾器；所述活性炭吸附器包括三個并列設置的活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C。本實用新型通過三個活性炭吸附器的交替循環，能實現對多晶硅生產尾氣的24小時不間斷回收處理，大大提高尾氣處理效率及整個工廠的多晶硅生產的速率。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅生產領域，具體涉及一種多晶硅生產尾氣中氯硅烷的回收系統。

背景技術

多晶硅工廠的尾氣主要含有氮氣、氫氣、氯化氫、氯硅烷等，其含量較為復雜，即含有不凝氣氮氣、氫氣、氯化氫；又含有富含酸性的氯硅烷。因此，怎樣能有效的處理該部分廢氣，減少對周圍環境的污染，成為刻不容緩需要解決的問題。

對于多晶硅工廠的尾氣的處理通常采用活性炭進行吸附，其原理是：活性炭在高壓力，低溫度下能夠吸附大分子，在低壓力，高溫度下能夠釋放大分子，再生吸附功能。利用活性炭的高壓低溫吸附——低壓高溫再生——低壓降溫——高壓低溫吸附，三個狀態不斷循環，來進行氯硅烷的吸附及回收。

目前市場上，通常只采用一個活性炭吸附器進行工作，這樣活性炭吸附器需要分別進行高壓低溫吸附，之后再進行低壓高溫再生，以及低壓降溫處理，這樣就存在很大的問題：當活性炭吸附器處于高壓低溫吸附時可以正常的吸收尾氣，但當活性炭吸附器處于低壓高溫再生以及低壓降溫兩個狀態時，其不能對尾氣進行吸收及處理，這樣就大大降低了尾氣吸收處理的效率，以至于導致整個多晶硅生產的速率。急需一套能夠24小時不間斷的多晶硅生產尾氣回收處理裝置。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型公開了一種多晶硅生產尾氣中氯硅烷的回收系統，此系統通過三個活性炭吸附器的交替循環，能實現對多晶硅生產尾氣的24小時不間斷回收處理，大大提高尾氣處理效率及整個工廠的多晶硅生產的速率。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：一種多晶硅生產尾氣中氯硅烷的回收系統，包括廢氣緩沖罐，變壓吸附系統，為所述變壓吸附系統提供熱量的熱源、與所述變壓吸附系統相連通的冷凝器和與所述變壓吸附系統相連通的廢氣淋洗塔；

所述廢氣緩沖罐上設有尾氣進管和低壓尾氣出管，所述低壓尾氣出管與所述變壓吸附系統相連通；

所述變壓吸附系統包括與所述低壓尾氣出管相連通的氣體壓縮機，通過高壓尾氣出管與所述氣體壓縮機相連通的活性炭吸附器以及分別與所述活性炭吸附器相連通的第一過濾器、第二過濾器和第三過濾器；

所述活性炭吸附器包括三個并列設置的活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C，所述活性炭吸附器A頂部設有吸附器A上通氣管，所述活性炭吸附器A底部設有吸附器A下通氣管，所述活性炭吸附器A的側壁上設有吸附器A導熱油進管和吸附器A導熱油出管，所述活性炭吸附器B頂部設有吸附器B上通氣管，所述活性炭吸附器B底部設有吸附器B下通氣管，所述活性炭吸附器B的側壁上設有吸附器B導熱油進管和吸附器B導熱油出管，所述活性炭吸附器C頂部設有吸附器C上通氣管，所述活性炭吸附器C底部設有吸附器C下通氣管，所述活性炭吸附器C的側壁上設有吸附器C導熱油進管和吸附器C導熱油出管；所述高壓尾氣出管分別與所述吸附器A 下通氣管、吸附器B下通氣管和吸附器C下通氣管相連通，所述高壓尾氣出管上設有控制所述高壓尾氣出管與所述吸附器A下通氣管通斷的吸附器A尾氣進閥、控制所述高壓尾氣出管與所述吸附器B下通氣管通斷的吸附器B尾氣進閥和控制所述高壓尾氣出管與所述吸附器C下通氣管通斷的吸附器C尾氣進閥；