[實(shí)用新型]一種多晶硅生產(chǎn)尾氣中氯硅烷的回收系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721747593.3
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207792717U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊刊;馮鞏;孟昱良
• 申請（專利權(quán)）人: 河北東明中硅科技有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11467
• 代理人: 賈凱

1.一種多晶硅生產(chǎn)尾氣中氯硅烷的回收系統(tǒng)，其特征在于：包括廢氣緩沖罐（1），變壓吸附系統(tǒng)（2），為所述變壓吸附系統(tǒng)（2）提供熱量的熱源（3）、與所述變壓吸附系統(tǒng)（2）相連通的冷凝器（4）和與所述變壓吸附系統(tǒng)（2）相連通的廢氣淋洗塔（5）；

所述廢氣緩沖罐（1）上設(shè)有尾氣進(jìn)管（11）和低壓尾氣出管（12），所述低壓尾氣出管（12）與所述變壓吸附系統(tǒng)（2）相連通；

所述變壓吸附系統(tǒng)（2）包括與所述低壓尾氣出管（12）相連通的氣體壓縮機(jī)（25），通過高壓尾氣出管（251）與所述氣體壓縮機(jī)（25）相連通的活性炭吸附器以及分別與所述活性炭吸附器相連通的第一過濾器（22）、第二過濾器（23）和第三過濾器（24）；

所述活性炭吸附器包括三個(gè)并列設(shè)置的活性炭吸附器A（211）、活性炭吸附器B（212）和活性炭吸附器C（213），所述活性炭吸附器A（211）頂部設(shè)有吸附器A上通氣管（2111），所述活性炭吸附器A（211）底部設(shè)有吸附器A下通氣管（2112），所述活性炭吸附器A（211）的側(cè)壁上設(shè)有吸附器A導(dǎo)熱油進(jìn)管（2113）和吸附器A導(dǎo)熱油出管（2114），所述活性炭吸附器B（212）頂部設(shè)有吸附器B上通氣管（2121），所述活性炭吸附器B（212）底部設(shè)有吸附器B下通氣管（2122），所述活性炭吸附器B（212）的側(cè)壁上設(shè)有吸附器B導(dǎo)熱油進(jìn)管（2123）和吸附器B導(dǎo)熱油出管（2124），所述活性炭吸附器C（213）頂部設(shè)有吸附器C上通氣管（2131），所述活性炭吸附器C（213）底部設(shè)有吸附器C下通氣管（2132），所述活性炭吸附器C（213）的側(cè)壁上設(shè)有吸附器C導(dǎo)熱油進(jìn)管（2133）和吸附器C導(dǎo)熱油出管（2134）；所述高壓尾氣出管（251）分別與所述吸附器A下通氣管（2112）、吸附器B下通氣管（2122）和吸附器C下通氣管（2132）相連通，所述高壓尾氣出管（251）上設(shè)有控制所述高壓尾氣出管（251）與所述吸附器A下通氣管（2112）通斷的吸附器A尾氣進(jìn)閥（2511）、控制所述高壓尾氣出管（251）與所述吸附器B下通氣管（2122）通斷的吸附器B尾氣進(jìn)閥（2512）和控制所述高壓尾氣出管（251）與所述吸附器C下通氣管（2132）通斷的吸附器C尾氣進(jìn)閥（2513）；

所述第一過濾器（22）的進(jìn)口處設(shè)有第一過濾器進(jìn)管（221），所述第一過濾器進(jìn)管（221）分別與所述吸附器A上通氣管（2111）、吸附器B上通氣管（2121）和吸附器C上通氣管（2131）相連通，所述第一過濾器進(jìn)管（221）上設(shè)有控制所述第一過濾器進(jìn)管（221）與所述吸附器A上通氣管（2111）通斷的吸附器A尾氣出閥（2211）、控制所述第一過濾器進(jìn)管（221）與所述吸附器B上通氣管（2121）通斷的吸附器B尾氣出閥（2212）和控制所述第一過濾器進(jìn)管（221）與所述吸附器C上通氣管（2131）通斷的吸附器C尾氣出閥（2213）；所述第一過濾器（22）的出口通過管路分別連接所述廢氣淋洗塔（5）和反吹氣緩沖罐（26），所述反吹氣緩沖罐（26）的出口處設(shè)置有反吹氣出管（261）；所述反吹氣出管（261）分別與所述吸附器A上通氣管（2111）、吸附器B上通氣管（2121）和吸附器C上通氣管（2131）相連通，所述反吹氣出管（261）上設(shè)有控制所述反吹氣出管（261）與所述吸附器A上通氣管（2111）通斷的吸附器A反吹氣進(jìn)閥（2611）、控制所述反吹氣出管（261）與所述吸附器B上通氣管（2121）通斷的吸附器B反吹氣進(jìn)閥（2612）和控制所述反吹氣出管（261）與所述吸附器C上通氣管（2131）通斷的吸附器C反吹氣進(jìn)閥（2613）；

所述第二過濾器（23）的進(jìn)口處設(shè)有第二過濾器進(jìn)管（231），所述第二過濾器進(jìn)管（231）分別與所述吸附器A下通氣管（2112）、吸附器B下通氣管（2122）和吸附器C下通氣管（2132）相連通，所述第二過濾器進(jìn)管（231）上設(shè)有控制所述第二過濾器進(jìn)管（231）與所述吸附器A下通氣管（2112）通斷的吸附器A反吹氣出閥（2311）、控制所述第二過濾器進(jìn)管（231）與所述吸附器B下通氣管（2122）通斷的吸附器B反吹氣出閥（2312）和控制所述第二過濾器進(jìn)管（231）與所述吸附器C下通氣管（2132）通斷的吸附器C反吹氣出閥（2313）；所述第二過濾器（23）的出口處通過第二過濾器出管（232）與所述冷凝器（4）相連通；

所述第三過濾器（24）的進(jìn)口處設(shè)有第三過濾器進(jìn)管（241），所述第三過濾器進(jìn)管（241）分別與所述吸附器A上通氣管（2111）、吸附器B上通氣管（2121）和吸附器C上通氣管（2131）相連通；所述第三過濾器進(jìn)管（241）上設(shè)有控制所述第三過濾器進(jìn)管（241）與所述吸附器A上通氣管（2111）通斷的吸附器A反吹尾氣出閥（2411）、控制所述第三過濾器進(jìn)管（241）與所述吸附器B上通氣管（2121）通斷的吸附器B反吹尾氣出閥（2412）和控制所述第三過濾器進(jìn)管（241）與所述吸附器C上通氣管（2131）通斷的吸附器C反吹尾氣出閥（2413）；所述第三過濾器（24）的出口處通過第三過濾器出管（242）與所述廢氣淋洗塔（5）相連通；

所述熱源（3）上設(shè)有導(dǎo)熱油出管（31）和導(dǎo)熱油回管（32），所述導(dǎo)熱油出管（31）分別與所述吸附器A導(dǎo)熱油進(jìn)管（2113）、吸附器B導(dǎo)熱油進(jìn)管（2123）和吸附器C導(dǎo)熱油進(jìn)管（2133）相連通，所述導(dǎo)熱油出管（31）上設(shè)有控制所述導(dǎo)熱油出管（31）與所述吸附器A導(dǎo)熱油進(jìn)管（2113）通斷的吸附器A導(dǎo)熱油進(jìn)閥（311）、控制所述導(dǎo)熱油出管（31）與所述吸附器B導(dǎo)熱油進(jìn)管（2123）通斷的吸附器B導(dǎo)熱油進(jìn)閥（312）和控制所述導(dǎo)熱油出管（31）與所述吸附器C導(dǎo)熱油進(jìn)管（2133）通斷的吸附器C導(dǎo)熱油進(jìn)閥（313）；所述導(dǎo)熱油回管（32）分別與所述吸附器A導(dǎo)熱油出管（2114）、吸附器B導(dǎo)熱油出管（2124）和吸附器C導(dǎo)熱油出管（2134）相連通，所述導(dǎo)熱油回管（32）上設(shè)有控制所述導(dǎo)熱油回管（32）與所述吸附器A導(dǎo)熱油出管（2114）通斷的吸附器A導(dǎo)熱油出閥（321）、控制所述導(dǎo)熱油回管（32）與所述吸附器B導(dǎo)熱油出管（2124）通斷的吸附器B導(dǎo)熱油出閥（322）和控制所述導(dǎo)熱油回管（32）與所述吸附器C導(dǎo)熱油出管（2134）通斷的吸附器C導(dǎo)熱油出閥（323）；

所述冷凝器（4）上設(shè)有冷凝器氣體進(jìn)管（41）、冷凝器氣體出管（42）和冷凝器液體出管（43），所述冷凝器氣體進(jìn)管（41）與所述第二過濾器出管（232）相連通，所述冷凝器液體出管（43）連接有氯硅烷存儲罐（6），所述冷凝器氣體出管（42）與所述吸附器A下通氣管（2112）、吸附器B下通氣管（2122）和吸附器C下通氣管（2132）相連通，所述冷凝器氣體出管（42）上設(shè)有控制所述冷凝器氣體出管（42）與所述吸附器A下通氣管（2112）通斷的吸附器A反吹氣回流閥（421）、控制所述冷凝器氣體出管（42）與所述吸附器B下通氣管（2122）通斷的吸附器B反吹氣回流閥（422）和控制所述冷凝器氣體出管（42）與所述吸附器C下通氣管（2132）通斷的吸附器C反吹氣回流閥（423）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅生產(chǎn)尾氣中氯硅烷的回收系統(tǒng)，其特征在于：所述導(dǎo)熱油出管（31）通過管路連接有導(dǎo)熱油膨脹罐（7）。