[實用新型]一種可控線性蒸發裝置

有效

• 申請號: 201721745217.0
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207713807U
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: 張擷秋;崔駿;劉壯;楊世航;陳旺壽;李霖
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06
• 代理公司: 北京市誠輝律師事務所 11430
• 代理人: 封明艷

1.一種可控線性蒸發裝置，包括坩堝、坩堝加熱器、導管、導管加熱器，其特征在于，所述坩堝和所述導管相連接構成線性蒸發源，在所述導管和所述坩堝之間設置閥門；所述閥門為可控性閥門，通過閥門開關，來控制所述坩堝內材料氣體的壓力，進而在較短時間內改變材料氣體的瞬間蒸發速率，通過閥門開啟和關閉的時間比例，來準確調節平均蒸發速率；所述裝置還包括控制系統，所述控制系統包括手動模式和自動模式，所述控制系統用來控制所述閥門的開關；所述手動模式即人為控制閥門的開啟和關閉；所述自動模式為設置閥門每次開啟的時間和關閉的時間進行自動開啟和關閉；所述閥門的外部設置閥門加熱系統，用來防止材料氣體在通過閥門由于壓差變化造成的冷凝；所述線性蒸發源外層設置屏蔽層，用以保證蒸發源內部溫度不流失，也用以隔絕外部溫度，避免對蒸發源進行干擾；所述坩堝外部設置坩堝加熱器，坩堝加熱器對坩堝底部和側面進行加熱，實現對坩堝中的材料加熱；所述導管加熱器分布于所述導管的外部，所述導管加熱器對導管周圍進行加熱，進而維持材料在導管內保持氣體狀態；所述導管的一側分布若干蒸發孔，孔徑的大小和間距通過軟件模擬獲得，以實現大面積的均勻沉積。

2.如權利要求1所述的可控線性蒸發裝置，其特征在于，所述的控制系統由電腦控制，所述閥門開啟程度在0—100％之間選擇可調。