[實(shí)用新型]一種具有網(wǎng)柵導(dǎo)熱件的熱蒸發(fā)坩堝組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721743779.1
• 申請(qǐng)日: 2017-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207845760U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉壯;楊世航;張擷秋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): C23C14/26
• 分類號(hào): C23C14/26
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有網(wǎng)柵導(dǎo)熱件的熱蒸發(fā)坩堝組件，包括坩堝及設(shè)于坩堝內(nèi)用于導(dǎo)熱的網(wǎng)柵導(dǎo)熱件，網(wǎng)柵導(dǎo)熱件包括具有多孔結(jié)構(gòu)的導(dǎo)熱網(wǎng)柵和設(shè)于導(dǎo)熱網(wǎng)柵外圍一周的側(cè)導(dǎo)熱件，側(cè)導(dǎo)熱件的外壁緊貼坩堝的內(nèi)壁以進(jìn)行熱量傳遞，導(dǎo)熱網(wǎng)柵上的多孔用于導(dǎo)出坩堝內(nèi)產(chǎn)生的蒸發(fā)原料氣體。本實(shí)用新型一種具有網(wǎng)柵導(dǎo)熱件的熱蒸發(fā)坩堝組件，其中網(wǎng)柵導(dǎo)熱件在熱蒸發(fā)鍍膜工藝中起到勻熱，導(dǎo)熱作用。通過(guò)熱蒸發(fā)三維導(dǎo)熱網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)將蒸發(fā)原料內(nèi)部、臨近液面處、接近坩堝內(nèi)壁處連接起來(lái)，形成多個(gè)小的子蒸發(fā)區(qū)域。由于三維導(dǎo)熱網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的聯(lián)通性，使得臨近加熱源的坩堝壁、底部的熱量可以快速傳導(dǎo)到坩堝內(nèi)部和臨近液面處，促進(jìn)在非平衡態(tài)下的溫度場(chǎng)均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空PVD鍍膜領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種具有網(wǎng)柵導(dǎo)熱件的熱蒸發(fā)坩堝組件。

背景技術(shù)

在熱蒸發(fā)鍍膜工藝過(guò)程中，電阻式加熱器通常置于坩堝的側(cè)面或底部(線源蒸發(fā)還需在噴管、噴嘴周圍布置加熱器)。理論上雖然通過(guò)多層屏蔽可以使得熱場(chǎng)內(nèi)部屬于一個(gè)近似密閉的熱孤立系統(tǒng)，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間預(yù)熱可以使得坩堝內(nèi)的蒸發(fā)原料達(dá)到熱平衡。但是由于蒸發(fā)工藝必然設(shè)定開(kāi)口或噴嘴將蒸發(fā)原料氣體導(dǎo)出加熱區(qū)以噴發(fā)到達(dá)鍍膜面，實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜功能，因此實(shí)際工藝過(guò)程是非熱平衡狀態(tài)，而在環(huán)境微擾條件下，原料內(nèi)臨近加熱源的位置、遠(yuǎn)離加熱源的位置、臨近蒸發(fā)液面的位置之間會(huì)產(chǎn)生短時(shí)的溫度不均勻。這種溫度不均勻性容易導(dǎo)致沸騰現(xiàn)象，即溶液中的局部產(chǎn)生氣泡，上升在液體表面破損，在此過(guò)程中易產(chǎn)生小液滴噴濺出坩堝或噴嘴結(jié)構(gòu)。噴濺的液滴濺落在鍍膜表面，會(huì)對(duì)鍍膜面產(chǎn)生嚴(yán)重的品質(zhì)傷害。這種噴濺現(xiàn)象在導(dǎo)熱性差的液體蒸發(fā)工藝、大蒸發(fā)量工藝過(guò)程以及相對(duì)大的蒸發(fā)坩堝結(jié)構(gòu)中更加嚴(yán)重。

為了解決噴濺問(wèn)題，我們提出一種熱蒸發(fā)三維導(dǎo)熱網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)勻熱導(dǎo)熱功能，降低因溫度不均勻?qū)е聡姙R的幾率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種具有網(wǎng)柵導(dǎo)熱件的熱蒸發(fā)坩堝組件，解決因溫度不均勻?qū)е碌膰姙R問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本實(shí)用新型采用了如下的技術(shù)方案：

本實(shí)用新型提供了一種具有網(wǎng)柵導(dǎo)熱件的熱蒸發(fā)坩堝組件，包括坩堝及設(shè)于坩堝內(nèi)用于導(dǎo)熱的網(wǎng)柵導(dǎo)熱件，所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件包括具有多孔結(jié)構(gòu)的導(dǎo)熱網(wǎng)柵和設(shè)于所述導(dǎo)熱網(wǎng)柵外圍一周的側(cè)導(dǎo)熱件，所述側(cè)導(dǎo)熱件的外壁緊貼所述坩堝的內(nèi)壁以進(jìn)行熱量傳遞，所述導(dǎo)熱網(wǎng)柵上的多孔用于導(dǎo)出所述坩堝內(nèi)產(chǎn)生的蒸發(fā)原料氣體。

進(jìn)一步地，所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件由多個(gè)導(dǎo)熱桿間隔交錯(cuò)連接形成，并形成多個(gè)間隔的孔。

進(jìn)一步地，每個(gè)所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件包括多個(gè)導(dǎo)熱網(wǎng)柵，多個(gè)導(dǎo)熱網(wǎng)柵上下堆疊設(shè)置，且分別與所述側(cè)導(dǎo)熱件連接。

進(jìn)一步地，所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件設(shè)有多個(gè)，多個(gè)所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件上下堆疊設(shè)置。

進(jìn)一步地，堆疊設(shè)置的多個(gè)所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件的外壁和底部分別與所述坩堝的內(nèi)壁和與內(nèi)壁相連的底部接觸。

進(jìn)一步地，堆疊設(shè)置的多個(gè)所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件在所述坩堝內(nèi)的堆疊高度占所述坩堝內(nèi)深度的1/3～4/5。

進(jìn)一步地，所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件由導(dǎo)熱金屬或陶瓷材料或復(fù)合材料制成。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)熱金屬選自銅、金、銀、鉭、鉬、鎢，和/或，所述陶瓷材料選自石墨、石英、氧化鋁、碳纖維、熱解氮化硼、碳化硅。

進(jìn)一步地，所述復(fù)合材料為金屬陶瓷復(fù)合材料。

進(jìn)一步地，所述網(wǎng)柵導(dǎo)熱件通過(guò)3D打印加工而成。

本實(shí)用新型一種具有網(wǎng)柵導(dǎo)熱件的熱蒸發(fā)坩堝組件，其中網(wǎng)柵導(dǎo)熱件在熱蒸發(fā)鍍膜工藝中起到勻熱，導(dǎo)熱作用。通過(guò)熱蒸發(fā)三維導(dǎo)熱網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)將蒸發(fā)原料內(nèi)部、臨近液面處、接近坩堝內(nèi)壁處連接起來(lái)，形成多個(gè)小的子蒸發(fā)區(qū)域。由于三維導(dǎo)熱網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的聯(lián)通性，使得臨近加熱源的坩堝壁、底部的熱量可以快速傳導(dǎo)到坩堝內(nèi)部和臨近液面處，促進(jìn)在非平衡態(tài)下的溫度場(chǎng)均勻性。