[實用新型]一種具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件

有效

• 申請號: 201721743779.1
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207845760U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 劉壯;楊世航;張擷秋
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：包括坩堝(1)及設于坩堝(1)內用于導熱的網柵導熱件(2)，所述網柵導熱件(2)包括具有多孔結構的導熱網柵(21)和設于所述導熱網柵(21)外圍一周的側導熱件(22)，所述側導熱件(22)的外壁緊貼所述坩堝(1)的內壁以進行熱量傳遞，所述導熱網柵(21)上的多孔用于導出所述坩堝(1)內產生的蒸發原料氣體。

2.根據權利要求1所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：所述網柵導熱件(2)由多個導熱桿間隔交錯連接形成，并形成多個間隔的孔。

3.根據權利要求1所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：每個所述網柵導熱件(2)包括多個導熱網柵(21)，多個導熱網柵(21)上下堆疊設置，且分別與所述側導熱件(22)連接。

4.根據權利要求3所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：所述網柵導熱件(2)設有多個，多個所述網柵導熱件(2)上下堆疊設置。

5.根據權利要求4所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：堆疊設置的多個所述網柵導熱件(2)的外壁和底部分別與所述坩堝(1)的內壁和與內壁相連的底部接觸。

6.根據權利要求5所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：堆疊設置的多個所述網柵導熱件(2)在所述坩堝(1)內的堆疊高度占所述坩堝(1)內深度的1/3～4/5。

7.根據權利要求1-6任意一項所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：所述網柵導熱件(2)由導熱金屬或陶瓷材料或復合材料制成。

8.根據權利要求7所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：所述導熱金屬選自銅、金、銀、鉭、鉬、鎢，和/或，所述陶瓷材料選自石墨、石英、氧化鋁、碳纖維、熱解氮化硼、碳化硅。

9.根據權利要求7所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：所述復合材料為金屬陶瓷復合材料。

10.根據權利要求7所述的具有網柵導熱件的熱蒸發坩堝組件，其特征在于：所述網柵導熱件(2)通過3D打印加工而成。