[實用新型]硅片退火用托盤機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721743756.0
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207542198U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔣新;劉濤;陳國才;竇福存
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/306
• 分類號: H01L21/306;H01L21/324;H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 蘇州根號專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32276
• 代理人: 項麗

1.一種硅片退火用托盤機構(gòu)，包括若干個摞放在一起的托盤，其特征在于，所述托盤包括云母制成的硅片定位板，硅片定位板限定出用于存放硅片的空腔，在所述空腔內(nèi)固定有第一導電板，在金屬導電板的底部固定連接有導電柱，所述導電柱的另一端固定連接有第二導電板，所述第二導電板用于與下層托盤中的硅片接觸導通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片退火用托盤機構(gòu)，其特征在于，所述導電柱包括襯套、連接銷以及彈簧，所述襯套固定在所述第一導電板的下方，所述連接銷與所述襯套滑動配合，所述連接銷的底端固定連接第二導電板，用來提供張緊力的所述彈簧套接在所述連接銷外側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片退火用托盤機構(gòu)，其特征在于，所述托盤中設(shè)有多個獨立的用于存放硅片的空腔，每個空腔旁的硅片定位板上開有上下貫穿的通孔，位于底部的托盤的通孔內(nèi)具有與相鄰空腔內(nèi)的第一導電板電連接的導電金屬構(gòu)成導電孔，所述托盤機構(gòu)還包括多個電極連接桿，每個所述電極連接桿豎直穿過若干個上層托盤上的通孔并最終插在所述導電孔內(nèi)，其中，每一所述電極連接桿與底部托盤中一個空腔內(nèi)的第一導電板電連接，構(gòu)成獨立的通電回路。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片退火用托盤機構(gòu)，其特征在于，位于頂部的所述上層托盤中的硅片與外部電連接，各托盤上對應(yīng)空腔內(nèi)的硅片、第一導電板、導電柱、第二導電板以及電極連接桿構(gòu)成獨立的通電回路。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的硅片退火用托盤機構(gòu)，其特征在于，所述托盤包括底部托盤和摞放在所述底部托盤上的若干個上層托盤，所述底部托盤的下方為平整的平板基座，所述底部托盤的四角設(shè)置有插孔，所述上層托盤的下方對應(yīng)于所述插孔的位置設(shè)置有可插入插孔的定位柱，且所述上層托盤的上方四角同樣設(shè)置有插孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片退火用托盤機構(gòu)，其特征在于，所述托盤機構(gòu)還包括工件蓋板，所述工件蓋板蓋壓在位于頂層的托盤內(nèi)的硅片上。