[實(shí)用新型]用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721742233.4
• 申請(qǐng)日: 2017-12-14
• 公開（公告）號(hào): CN207680300U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李建霖;曾偉庭;高浩鑫;洪偉珉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 漢科系統(tǒng)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/00
• 分類號(hào): B01D53/00;B01D53/02;B01D53/18
• 代理公司: 北京泰吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11355
• 代理人: 史瞳;許榮文

一種用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，適用于處理來自濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣中的醇類，并包含入口部及過濾部。所述入口部做為所述來自濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的入口。所述過濾部銜接于所述入口部的出口，并包括化學(xué)濾材。所述化學(xué)濾材用于吸附來自所述入口部的排氣中的醇類，例如異丙醇(IPA)等。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種洗滌裝置，特別是涉及一種用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置。

背景技術(shù)

濕式蝕刻清洗臺(tái)廣泛用于半導(dǎo)體等制程。以半導(dǎo)體濕式蝕刻清洗臺(tái)為例，其會(huì)產(chǎn)生包括例如異丙醇(IPA)等有機(jī)溶劑氣體的排氣。這些含有異丙醇?xì)怏w的排氣必須以洗滌裝置加以洗滌去除，以避免造成空污問題。

一般洗滌裝置是利用至少兩個(gè)水洗部中的噴頭噴灑水液，而將排氣中的異丙醇?xì)怏w洗滌去除。然而，被水洗去除的異丙醇落至貯水槽中，再排至環(huán)境中，反而造成水污染問題。因此，有必要尋求解決方案。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，適用于處理來自濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣中的醇類，并包含入口部，所述入口部做為所述來自濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的入口。所述用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置還包含過濾部。所述過濾部銜接于所述入口部的出口，并包括化學(xué)濾材。所述化學(xué)濾材用于吸附來自所述入口部的排氣中的醇類。

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，所述化學(xué)濾材為經(jīng)改質(zhì)過后的活性碳

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，所述化學(xué)濾材的形狀為矩形體，且所述過濾部還包括用于鉛直地安裝所述化學(xué)濾材的安裝架。

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，還包含位于所述過濾部下游處且包括至少一個(gè)噴頭的水洗部，所述噴頭是利用水液洗滌來自所述過濾部的排氣中的殘余醇類。

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，所述水洗部包括數(shù)個(gè)噴頭。

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，還包含位于所述水洗部下方并用于盛接所述噴頭噴出的水液的水槽。

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，還包含位于所述水洗部下游處并用于對(duì)來自所述水洗部的干凈氣體進(jìn)行除霧的除霧器。

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，還包含位于所述除霧器下游處的風(fēng)車，所述風(fēng)車用于將來自所述除霧器的干凈氣體排放至大氣中。

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，還包含用于安裝所述入口部、所述過濾部、所述水洗部、所述除霧器與所述風(fēng)車的殼體。

本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置，所述入口部包括數(shù)條入口管。

本實(shí)用新型的有益效果在于：

通過使用過濾部的化學(xué)濾材，可將來自濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣中的絕大部分醇類予以吸附過濾，因而可避免水資源被多量的醇類嚴(yán)重污染的環(huán)保問題。

附圖說明

圖1是立體圖，說明本實(shí)用新型用于濕式蝕刻清洗臺(tái)的排氣的高吸附洗滌裝置的實(shí)施例；及

圖2是裝置配置示意圖，說明該實(shí)施例。

具體實(shí)施方式