[實(shí)用新型]用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721742233.4 | 申請日： | 2017-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN207680300U | 公開（公告）日： | 2018-08-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李建霖;曾偉庭;高浩鑫;洪偉珉 | 申請（專利權(quán)）人： | 漢科系統(tǒng)科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/00 | 分類號： | B01D53/00;B01D53/02;B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京泰吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11355 | 代理人： | 史瞳;許榮文 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 排氣 濕式蝕刻 清洗臺 入口部 化學(xué)濾材 洗滌裝置 高吸附 醇類 過濾 異丙醇 吸附 銜接 出口 | ||
1.一種用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，適用于處理來自濕式蝕刻清洗臺的排氣中的醇類，并包含入口部，所述入口部做為所述來自濕式蝕刻清洗臺的排氣的入口，其特征在于，所述用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置還包含過濾部，所述過濾部銜接于所述入口部的出口，并包括化學(xué)濾材，所述化學(xué)濾材用于吸附來自所述入口部的排氣中的醇類。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：所述化學(xué)濾材為經(jīng)改質(zhì)過后的活性碳。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：所述化學(xué)濾材的形狀為矩形體，且所述過濾部還包括用于鉛直地安裝所述化學(xué)濾材的安裝架。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：還包含位于所述過濾部下游處且包括至少一個噴頭的水洗部，所述噴頭是利用水液洗滌來自所述過濾部的排氣中的殘余醇類。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：所述水洗部包括數(shù)個噴頭。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：還包含位于所述水洗部下方并用于盛接所述噴頭噴出的水液的水槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：還包含位于所述水洗部下游處并用于對來自所述水洗部的干凈氣體進(jìn)行除霧的除霧器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：還包含位于所述除霧器下游處的風(fēng)車，所述風(fēng)車用于將來自所述除霧器的干凈氣體排放至大氣中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：還包含用于安裝所述入口部、所述過濾部、所述水洗部、所述除霧器與所述風(fēng)車的殼體。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕式蝕刻清洗臺的排氣的高吸附洗滌裝置，其特征在于：所述入口部包括數(shù)條入口管。
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