[實用新型]一種帶防液滴噴濺格柵的熱蒸發裝置有效
| 申請號： | 201721736330.2 | 申請日： | 2017-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN208136329U | 公開（公告）日： | 2018-11-23 |
| 發明（設計）人： | 張擷秋;劉壯;楊世航;鐘國華;黃俏俏;崔駿;李霖 | 申請（專利權）人： | 深圳先進技術研究院 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市誠輝律師事務所 11430 | 代理人： | 范盈 |
| 地址： | 518055 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 格柵 噴管 蒸發材料 液滴 坩堝 熱蒸發裝置 支撐框架 坩堝內壁 防液滴 阻擋 厚度均勻性 熱蒸發鍍膜 頂端端口 鍍膜表面 鍍膜材料 鍍膜工藝 緊密貼合 傾斜擋板 有效減少 良品率 外壁 加熱 相通 容納 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶防液滴噴濺格柵的熱蒸發裝置，其特征在于：
包括：
蒸發材料；
坩堝，所述坩堝容納待加熱的所述蒸發材料；
噴管，所述噴管與坩堝的頂端端口相通；
格柵，所述格柵放置在坩堝內壁，且位于蒸發材料上方，所述格柵具有阻擋噴濺液滴直線運動至噴管的傾斜擋板。
2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述格柵還包括：
支撐框架，所述支撐框架的外壁與所述坩堝內壁緊密貼合接觸且形狀相同。
3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：一層的所述傾斜擋板平行設置且為多個，且每個所述的傾斜擋板的兩端支撐在所述支撐框架上。
4.如權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述支撐框架外壁的水平橫截面為橢圓形或四邊形。
5.如權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述支撐框架外壁的水平橫截面為圓形。
6.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述格柵采用燒結、機械加工或增材制造。
7.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述格柵材料為銅、金、銀、鉭、鉬、鎢、石墨、石英、氧化鋁、碳纖維、氮化硼或碳化硅。
8.如權利要求1至7任一項所述的裝置，其特征在于：所述傾斜擋板具有一層或多層。
9.如權利要求8所述的裝置，其特征在于：同一層的所述傾斜擋板間距和傾斜角度相同。
10.如權利要求1至7任一項所述的裝置，其特征在于：所述格柵具有兩個，且上下相鄰對稱放置。
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