[實用新型]一種隔離閥裝置有效
| 申請號： | 201721731976.1 | 申請日： | 2017-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN207775344U | 公開（公告）日： | 2018-08-28 |
| 發明（設計）人： | 李國強;林宗賢;吳孝哲 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣缸 隔離閥裝置 密封箱 密封圈 本實用新型 氣密連接 面密封 內驅動 報警設備 測試設備 沉積設備 二次密封 氣體泄漏 驅動氣體 同步移動 板固定 減小 進氣 腔體 密封 泄露 顯露 直觀 量化 概率 | ||
1.一種隔離閥裝置，其特征在于，包括面密封板、執行機構及氣缸，所述氣缸提供所述執行機構的動力，所述執行機構及所述氣缸之間設有密封圈，所述面密封板固定于所述執行機構的端部，所述隔離閥裝置還包括：
密封箱，所述密封箱套設于所述執行機構，所述密封箱的底部與所述氣缸氣密連接，頂部與所述執行機構氣密連接并與所述執行機構同步移動，且所述密封圈顯露于所述密封箱內。
2.根據權利要求1所述的隔離閥裝置，其特征在于，還包括測試設備，所述測試設備連接于所述密封箱，用于檢測所述執行機構與所述氣缸之間的氣體泄漏。
3.根據權利要求2所述的隔離閥裝置，其特征在于，所述測試設備包括真空泵、測壓計、流量計中的一種。
4.根據權利要求2所述的隔離閥裝置，其特征在于，所述密封箱及所述測試設備之間連接有排氣管。
5.根據權利要求1所述的隔離閥裝置，其特征在于，所述密封圈位于所述氣缸上表面。
6.根據權利要求1所述的隔離閥裝置，其特征在于，所述密封箱位于所述氣缸上表面，覆蓋部分或全部覆蓋所述氣缸上表面。
7.根據權利要求1所述的隔離閥裝置，其特征在于，所述密封箱包覆部分或全部包覆所述氣缸側壁。
8.根據權利要求1所述的隔離閥裝置，其特征在于，所述密封箱包括波紋管。
9.根據權利要求1所述的隔離閥裝置，其特征在于，所述隔離閥裝置還包括報警設備。
10.根據權利要求9所述的隔離閥裝置，其特征在于，所述報警設備包括聲光報警器、聲報警器及光報警器中的任意一種。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于德淮半導體有限公司，未經德淮半導體有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721731976.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：脈沖激光沉積系統
- 下一篇：金剛石/石墨烯復合導熱膜和散熱系統
- 同類專利
- 專利分類
