[實用新型]一種用于固晶機的頂針裝置有效

申請號：	201721729742.3	申請日：	2017-12-13
公開（公告）號：	CN207542228U	公開（公告）日：	2018-06-26
發明（設計）人：	湯志鵬;殷海濤	申請（專利權）人：	蘇州聚進順自動化科技有限公司
主分類號：	H01L21/687	分類號：	H01L21/687
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	215000 江蘇省蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	頂針裝置固定座通孔頂針孔移動座本實用新型驅動裝置真空設備固晶機晶片頂針頂針位置工作效率上下移動上下運動吸附晶片吸附薄膜驅動
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【權利要求書】：

1.一種用于固晶機的頂針裝置，包括頂針裝置和驅動裝置，其特征是，所述頂針裝置包括固定座，所述固定座內設置有可在固定座內上下移動的移動座，所述移動座通過驅動裝置驅動其上下運動，所述移動座上方設置有頂針，所述固定座上方設置有通孔，所述通孔連接真空設備，所述固定座上方還設置有頂針孔，所述頂針孔與頂針位置相對應。

2.根據權利要求1所述的一種用于固晶機的頂針裝置，其特征是，所述移動座上設置有支撐頂針的頂桿，所述頂桿上設置有與頂針相連的連接部。

3.根據權利要求2所述的一種用于固晶機的頂針裝置，其特征是，所述頂桿設置有兩個，所述連接部為半圓形，一鎖緊環連接兩個頂桿的連接部。

4.根據權利要求2所述的一種用于固晶機的頂針裝置，其特征是，所述連接部處設置有彈性墊。

5.根據權利要求1所述的一種用于固晶機的頂針裝置，其特征是，所述頂針包括第一部分和第二部分，所述第一部分處套設置有彈簧，所述彈簧的直徑大于頂針孔的直徑。

6.根據權利要求1所述的一種用于固晶機的頂針裝置，其特征是，所述通孔設置有多個，并且均勻的設置在頂針孔周圍。

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