[實用新型]一種切割后硅片裝夾夾具及切割后硅片裝夾組件

有效

• 申請號: 201721726291.8
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN208118159U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 黃金強;馮強;郭寬新
• 申請（專利權）人: 蘇州晶櫻光電科技股份有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;H01L21/304;B28D5/00
• 代理公司: 南京蘇創專利代理事務所(普通合伙) 32273
• 代理人: 曹成俊

1.一種切割后硅片裝夾夾具，包括一個L形的折彎桿，折彎桿長段的端部段設有連接螺紋且其上活動套有直桿，折彎桿上在直桿兩側分別設有鎖定連接直桿的鎖定螺母，折彎桿的短段端部轉動設有平行于長段的連接桿，直桿的端部也設有平行于折彎桿長段的連接桿，連接桿端部設有端部夾板，端部夾板上與硅片接觸表面設有彈性膠板。

2.一種切割后硅片裝夾組件，其特征在于：包括裝夾平臺及夾具，裝夾平臺包括上表面傾斜設置的底座，底座較低一側設有側定位立板，底座一端設有端部立板，端部立板正對硅片的表面上設有容置夾具的端部夾板的定位槽，端部立板上設有供連接直桿穿過的豎直布置且貫通至端部立板上表面的容置槽，所述夾具為權利要求1所述夾具。

3.如權利要求2所述的一種切割后硅片裝夾組件，其特征在于：所述側定位立板上在遠離端部立板的一端設有避讓連接直桿的避讓槽口。

4.如權利要求3所述的一種切割后硅片裝夾組件，其特征在于：所述裝夾平臺底座上表面的傾斜角度為5-40°。