[實(shí)用新型]一種切割后硅片裝夾夾具及切割后硅片裝夾組件有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721726291.8 | 申請(qǐng)日: | 2017-12-13 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN208118159U | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-11-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃金強(qiáng);馮強(qiáng);郭寬新 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州晶櫻光電科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | B28D7/04 | 分類號(hào): | B28D7/04;H01L21/304;B28D5/00 |
| 代理公司: | 南京蘇創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32273 | 代理人: | 曹成俊 |
| 地址: | 215614 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硅片 折彎桿 直桿 切割 端部夾板 長(zhǎng)段 底座 夾具 本實(shí)用新型 裝夾夾具 裝夾平臺(tái) 裝夾組件 連接桿 立板 平行 鎖定 螺母 立板上表面 連接桿端部 彈性膠板 定位立板 連接螺紋 傾斜設(shè)置 豎直布置 定位槽 端部段 活動(dòng)套 容置槽 上表面 短段 容置 轉(zhuǎn)動(dòng) 穿過(guò) 貫通 修復(fù) | ||
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種切割后硅片修復(fù)用裝夾夾具包括一個(gè)L形的折彎桿,折彎桿長(zhǎng)段的端部段設(shè)有連接螺紋且其上活動(dòng)套有直桿,折彎桿上在直桿兩側(cè)分別設(shè)有鎖定連接直桿的鎖定螺母,折彎桿的短段端部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有平行于長(zhǎng)段的連接桿,直桿的端部也設(shè)有平行于折彎桿長(zhǎng)段的連接桿,連接桿端部設(shè)有端部夾板,端部夾板上與硅片接觸表面設(shè)有彈性膠板。本實(shí)用新型還公開(kāi)了一種切割后硅片裝夾組件,包括裝夾平臺(tái)及上述夾具,所述裝夾平臺(tái)包括上表面傾斜設(shè)置的底座,底座較低一側(cè)設(shè)有側(cè)定位立板,底座一端設(shè)有端部立板,端部立板正對(duì)硅片的表面上設(shè)有容置夾具的端部夾板的定位槽,端部立板上設(shè)有供連接直桿穿過(guò)的豎直布置且貫通至端部立板上表面的容置槽。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種切割后硅片裝夾夾具及切割后硅片裝夾組件。
背景技術(shù)
目前由于金剛線切片效率極高,因此每日產(chǎn)量日趨增多,A級(jí)品與B級(jí)品的數(shù)量較之前低產(chǎn)量時(shí)有大幅度提升。大批量的B級(jí)品產(chǎn)生,造成了大幅的成本浪費(fèi),因此對(duì)于B級(jí)品的各種不良類別的修復(fù)處理方案逐漸被提出。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型另一個(gè)所要解決的技術(shù)問(wèn)題是:提供一種在硅片修復(fù)時(shí)裝夾硅片的夾具,其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易、便于使用,且能有效的夾裝硅片。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為:一種切割后硅片裝夾夾具,包括一個(gè)L形的折彎桿,折彎桿長(zhǎng)段的端部段設(shè)有連接螺紋且其上活動(dòng)套有直桿,折彎桿上在直桿兩側(cè)分別設(shè)有鎖定連接直桿的鎖定螺母,折彎桿的短段端部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有平行于長(zhǎng)段的連接桿,直桿的端部也設(shè)有平行于折彎桿長(zhǎng)段的連接桿,連接桿端部設(shè)有端部夾板,端部夾板上與硅片接觸表面設(shè)有彈性膠板。
本方案的有益效果是:本夾具可有效夾持住待修復(fù)的硅片,用于邊緣有諸如亮邊、毛邊、硅落等不良B級(jí)硅片的有效修復(fù)。
本實(shí)用新型所要解決的另一個(gè)技術(shù)問(wèn)題是:提供一種切割后硅片裝夾組件,可將硅片進(jìn)行裝夾后用于硅片修復(fù),其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易、便于使用,且能有效的夾裝硅片。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為:一種切割后硅片裝夾組件,包括裝夾平臺(tái)及夾具,夾具包括一個(gè)L形的折彎桿,折彎桿長(zhǎng)段的端部段設(shè)有連接螺紋且其上活動(dòng)套有直桿,折彎桿上在直桿兩側(cè)分別設(shè)有鎖定連接直桿的鎖定螺母,折彎桿的短段端部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有平行于長(zhǎng)段的連接桿,直桿的端部也設(shè)有平行于折彎桿長(zhǎng)段的連接桿,連接桿端部設(shè)有端部夾板,端部夾板上與硅片接觸表面設(shè)有彈性膠板;
所述裝夾平臺(tái)包括上表面傾斜設(shè)置的底座,底座較低一側(cè)設(shè)有側(cè)定位立板,底座一端設(shè)有端部立板,端部立板正對(duì)硅片的表面上設(shè)有容置夾具的端部夾板的定位槽,端部立板上設(shè)有供連接直桿穿過(guò)的豎直布置且貫通至端部立板上表面的容置槽。
作為一種優(yōu)選的方案,所述側(cè)定位立板上在遠(yuǎn)離端部立板的一端設(shè)有避讓連接直桿的避讓槽口。
作為一種優(yōu)選的方案,所述裝夾平臺(tái)底座上表面的傾斜角度為5-40°。
本方案的有益效果是:裝夾平臺(tái)可快速定位待夾硅片與夾具的位置,使用方便,提高裝夾效率,而且使得夾具對(duì)硅片的夾持較為牢靠,避免提取硅片或在硅片修復(fù)過(guò)程中出現(xiàn)硅片脫落損壞的情形。
由于端部夾板上與硅片接觸表面設(shè)有彈性膠板,可更好地保證被夾硅片的表面質(zhì)量;
由于裝夾平臺(tái)底座上表面的傾斜角度為5-40°,使得硅片在重力作用下靠在側(cè)定位立板上,從而使得硅片在裝夾平臺(tái)上更準(zhǔn)確的定位。
附圖說(shuō)明
圖1是本實(shí)用新型的中夾具裝夾硅片的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4是本實(shí)用新型的左視結(jié)構(gòu)示意圖。
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