[實用新型]氣體切換系統

有效

• 申請號: 201721710590.2
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN207690773U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 葉秀珢;鄭吉宸;蔡佳棋;李旻哲;林祺浩;古伊鈞
• 申請（專利權）人: 華景電通股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

1.一種氣體切換系統，其特征在于，所述氣體切換系統包含：

一氣體切換單元，其連接多個氣體供應設備，多個所述氣體供應設備分別提供彼此不同種類的氣體，且所述氣體切換單元連接一主進氣管路，所述氣體切換單元能受控制而選擇性地使其中一個所述氣體供應設備所提供的氣體，進入所述主進氣管路；所述主進氣管路的一端連接至一待充氣空間；其中，兩個所述氣體供應設備分別提供氮氣及超潔凈氣體；以及

一處理模塊，其電性連接所述氣體切換單元，所述處理模塊能接受一外部設備傳遞的一開門信號或一關門信號；所述處理模塊接收所述開門信號時，能控制所述氣體切換單元進行氣體切換作業，以使所述主進氣管路由排出氮氣轉換為排出超潔凈氣體；所述處理模塊接收所述關門信號時，能控制所述氣體切換單元進行氣體切換作業，以使所述主進氣管路由排出超潔凈氣體轉換為排出氮氣。

2.根據權利要求1所述的氣體切換系統，其特征在于，所述處理模塊能控制所述氣體切換單元所輸出的氣體流量，所述處理模塊接收所述開門信號時，所述處理模塊能控制所述氣體切換單元，而使所述主進氣管路由輸出一第一流量的氮氣，轉換為輸出一第二流量的超潔凈氣體，所述第二流量大于所述第一流量。

3.根據權利要求2所述的氣體切換系統，其特征在于，所述外部設備為一晶圓載具平臺，所述晶圓載具平臺包含有一感測單元，所述晶圓載具平臺用以承載一晶圓載具，所述晶圓載具內部具有一容置空間，所述容置空間用以容置至少一個晶圓，所述容置空間即為所述待充氣空間；所述晶圓載具平臺的一控制模塊，能選擇性地控制所述晶圓載具的一活動門，以使所述待充氣空間與位于所述晶圓載具平臺一側的一主機空間相連通；所述感測單元用以感測所述活動門的啟閉狀態，以對應產生所述開門信號或所述關門信號。

4.根據權利要求1所述的氣體切換系統，其特征在于，所述外部設備為一晶圓載具平臺，所述晶圓載具平臺用以承載一晶圓載具，所述晶圓載具內部具有一容置空間，所述容置空間用以容置至少一個晶圓，所述容置空間即為所述待充氣空間；所述晶圓載具平臺的一控制模塊，能選擇性地控制所述晶圓載具的一活動門，以使所述待充氣空間與位于所述晶圓載具平臺一側的一主機空間相連通；當所述控制模塊控制所述活動門開啟，以使所述待充氣空間與所述主機空間相連通時，所述控制模塊能傳遞所述開門信號至所述處理模塊；當所述控制模塊控制所述活動門關閉，以使所述待充氣空間與所述主機空間相連通時，所述控制模塊能傳遞所述關門信號至所述處理模塊。

5.根據權利要求1所述的氣體切換系統，其特征在于，所述氣體切換單元能依據各個所述氣體供應設備與所述主進氣管路相連通的狀態，而對應產生一連通狀態數據，所述處理模塊接收所述開門信號或是所述關門信號時，能依據所述連通狀態數據，而選擇性地控制所述氣體切換單元進行氣體切換作業，以切換由所述主進氣管路進入所述待充氣空間的氣體種類。

6.根據權利要求1至5其中任一項所述的氣體切換系統，其特征在于，所述主進氣管路鄰近于所述氣體切換單元的位置，連接有一副進氣管路，而通過所述氣體切換單元的氣體能同時進入所述主進氣管路及所述副進氣管路；所述主進氣管路設置有一氣動開關單元，所述氣動開關單元與所述副進氣管路的另一端相連通，所述氣動開關單元能選擇性地阻斷所述主進氣管路的連通；所述副進氣管路設置有一電動開關單元，所述電動開關單元能選擇性地阻斷所述副進氣管路的連通；其中，所述電動開關單元受控制而使所述副進氣管路的兩端相連通時，通過所述副進氣管路的氣體，能驅使所述氣動開關單元開啟，而使通過所述氣體切換單元的氣體能通過所述主進氣管路進入所述待充氣空間中。

7.根據權利要求1至5其中任一項所述的氣體切換系統，其特征在于，所述氣體切換系統還包含有一排氣模塊，其包含有一排氣管路及一排氣單元，所述排氣管路與所述待充氣空間相連接，所述排氣單元能受所述處理模塊控制，而選擇性地使所述待充氣空間的氣體向外排出；所述處理模塊接收所述開門信號或所述關門信號，而使所述氣體切換單元切換進入所述主進氣管路的氣體種類時，所述處理模塊能同時控制所述排氣模塊，而使所述排氣單元將所述待充氣空間中的氣體，通過所述排氣管路向外排出。