[實(shí)用新型]氣體切換系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721710590.2
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN207690773U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉秀珢;鄭吉宸;蔡佳棋;李旻哲;林祺浩;古伊鈞
• 申請（專利權(quán)）人: 華景電通股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

一種氣體切換系統(tǒng)包含：氣體切換單元及處理模塊。氣體切換單元連接能提供不同種類氣體的多個(gè)氣體供應(yīng)設(shè)備；兩個(gè)所述氣體供應(yīng)設(shè)備分別提供氮?dú)饧俺瑵崈魵怏w。氣體切換單元連接主進(jìn)氣管路，氣體切換單元能受控制而選擇性地使其中一個(gè)氣體供應(yīng)設(shè)備所提供的氣體，進(jìn)入主進(jìn)氣管路；主進(jìn)氣管路的一端連接至待充氣空間。處理模塊電性連接氣體切換單元，處理模塊能接受開門信號或關(guān)門信號；處理模塊分別接收開門信號及關(guān)門信號時(shí)，能控制氣體切換單元作業(yè)，以使主進(jìn)氣管路由排出氮?dú)廪D(zhuǎn)換為排出超潔凈氣體及由排出超潔凈氣體轉(zhuǎn)換為排出氮?dú)狻?/p>

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種氣體切換系統(tǒng)，特別是一種能依據(jù)所接收不同信號，以進(jìn)行氣體切換的氣體切換系統(tǒng)。

背景技術(shù)

晶圓片屬于高精密的組件，因此，現(xiàn)今晶圓片多是利用晶圓盒(FOUP)承裝及運(yùn)送，且相關(guān)廠商為了維持晶圓片的穩(wěn)定，多會于晶圓盒中填充特定氣體，例如氮?dú)?N2)或是超潔凈氣體(XCDA)。然，在晶圓盒被開啟以取出晶圓片、置放晶圓片、待傳送前等的過程中，晶圓盒中的環(huán)境狀態(tài)例如溫度、濕度，可能受外部環(huán)境影響，進(jìn)而可能會影響晶圓片。因此，如何避免晶圓片在運(yùn)送或是被作業(yè)的過程中，受外部環(huán)境影響成為了相關(guān)廠商極需解決的問題之一。緣此，本實(shí)用新型人乃潛心研究并配合學(xué)理的運(yùn)用，而提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述問題的本實(shí)用新型。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種氣體切換系統(tǒng)，在晶圓盒被開啟時(shí)，能實(shí)時(shí)地切換供應(yīng)至晶圓盒中的氣體種類，以維持晶圓盒內(nèi)原本的溫、濕度，以改善現(xiàn)有技術(shù)中，晶圓盒開啟后，晶圓盒中的環(huán)境容易被影響的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種氣體切換系統(tǒng)，其包含：一氣體切換單元，其連接多個(gè)氣體供應(yīng)設(shè)備，多個(gè)所述氣體供應(yīng)設(shè)備分別提供彼此不同種類的氣體，且所述氣體切換單元連接一主進(jìn)氣管路，所述氣體切換單元能受控制而選擇性地使其中一個(gè)所述氣體供應(yīng)設(shè)備所提供的氣體，進(jìn)入所述主進(jìn)氣管路；所述主進(jìn)氣管路的一端連接至一待充氣空間；其中，兩個(gè)所述氣體供應(yīng)設(shè)備分別提供氮?dú)饧俺瑵崈魵怏w；一處理模塊，其電性連接所述氣體切換單元，所述處理模塊能接受一開門信號或一關(guān)門信號；所述處理模塊接收所述開門信號時(shí)，能控制所述氣體切換單元進(jìn)行氣體切換作業(yè)，以使所述主進(jìn)氣管路由排出氮?dú)廪D(zhuǎn)換為排出超潔凈氣體；所述處理模塊接收所述關(guān)門信號時(shí)，能控制所述氣體切換單元進(jìn)行氣體切換作業(yè)，以使所述主進(jìn)氣管路由排出超潔凈氣體轉(zhuǎn)換為排出氮?dú)狻?/p>

優(yōu)選地，所述處理模塊能控制所述氣體切換單元所輸出的氣體流量，所述處理模塊接收所述開門信號時(shí)，所述處理模塊能控制所述氣體切換單元，而使所述主進(jìn)氣管路由輸出一第一流量的氮?dú)猓D(zhuǎn)換為輸出一第二流量的超潔凈氣體，所述第二流量大于所述第一流量。

優(yōu)選地，所述外部設(shè)備為一晶圓載具平臺，所述晶圓載具平臺包含有一感測單元，所述晶圓載具平臺用以承載一晶圓載具，所述晶圓載具內(nèi)部具有一容置空間，所述容置空間用以容置至少一個(gè)晶圓，所述容置空間即為所述待充氣空間；所述晶圓載具平臺的一控制模塊，能選擇性地控制所述晶圓載具的一活動(dòng)門，以使所述待充氣空間與位于所述晶圓載具平臺一側(cè)的一主機(jī)空間相連通；所述感測單元用以感測所述活動(dòng)門的啟閉狀態(tài)，以對應(yīng)產(chǎn)生所述開門信號或所述關(guān)門信號。

優(yōu)選地，所述外部設(shè)備為一晶圓載具平臺，所述晶圓載具平臺用以承載一晶圓載具，所述晶圓載具內(nèi)部具有一容置空間，所述容置空間用以容置至少一個(gè)晶圓，所述容置空間即為所述待充氣空間；所述晶圓載具平臺的一控制模塊，能選擇性地控制所述晶圓載具的一活動(dòng)門，以使所述待充氣空間與位于所述晶圓載具平臺一側(cè)的一主機(jī)空間相連通；當(dāng)所述控制模塊控制所述活動(dòng)門開啟，以使所述待充氣空間與所述主機(jī)空間相連通時(shí)，所述控制模塊能傳遞所述開門信號至所述處理模塊；當(dāng)所述控制模塊控制所述活動(dòng)門關(guān)閉，以使所述待充氣空間與所述主機(jī)空間相連通時(shí)，所述控制模塊能傳遞所述關(guān)門信號至所述處理模塊。