[實(shí)用新型]一種LPCVD真空加熱腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721709152.4
• 申請(qǐng)日: 2017-12-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207596957U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁建輝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京鉑陽(yáng)頂榮光伏科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/46
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/46
• 代理公司: 北京維澳專(zhuān)利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;逄京喜

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種LPCVD真空加熱腔室，所述加熱腔室內(nèi)自上而下順次設(shè)有加熱裝置、均熱板和玻璃基板，所述加熱腔室的腔壁上設(shè)有熱量屏蔽裝置，本實(shí)用新型通過(guò)在加熱腔室的內(nèi)部設(shè)置均熱板，可以保證玻玻璃基板上的玻璃受熱均勻，避免熱量集中，同時(shí)在加熱腔室的腔壁上設(shè)置熱量屏蔽裝置，可以將散逸到腔室壁上的熱量反射回腔室內(nèi)部，降低加熱腔室內(nèi)的熱量損失，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的LPCVD真空加熱腔室可以有效降低熱量損失，保證加熱腔室內(nèi)處于合適的溫度，降低加熱腔室的加熱成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種LPCVD真空加熱腔室。

背景技術(shù)

LPCVD是用于沉積CIGS膜層的設(shè)備，通過(guò)沉積CIGS膜層，可以有效提高電池的轉(zhuǎn)化效率。LPCVD主要包括上片臺(tái)、真空加熱腔室、工藝腔室、冷卻腔室和卸片臺(tái)等組件。

LPCVD工藝流程為：玻璃經(jīng)上片臺(tái)裝載在基板上，然后玻璃借助玻璃基板進(jìn)入真空加熱腔室，接著真空加熱腔室開(kāi)始抽真空并對(duì)玻璃進(jìn)行加熱，待真空加熱腔室加熱到設(shè)定溫度后，玻璃會(huì)被自動(dòng)傳輸?shù)焦に嚽皇遥M(jìn)行工藝膜層沉積，工藝完成后在冷卻腔室內(nèi)冷卻，然后從卸片臺(tái)傳出。

在上述加熱過(guò)程中，既要將玻璃基板加熱到預(yù)定溫度，又要避免真空加熱腔室的腔室壁過(guò)熱，故在腔室壁上設(shè)有冷卻水槽，通過(guò)冷卻循環(huán)水來(lái)降低腔室壁的溫度，然而冷卻循環(huán)水在帶走輻射到腔室壁上的熱量時(shí)，常常會(huì)產(chǎn)生過(guò)多的能量消耗，因此有必要對(duì)現(xiàn)有的LPCVD真空加熱腔室改進(jìn)，以克服上述缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種LPCVD真空加熱腔室，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的真空加熱腔室的冷卻水槽帶走過(guò)多熱量的技術(shù)問(wèn)題，它能夠?qū)⑸⒁莸角皇冶谏系臒崃糠瓷浠厍皇覂?nèi)部，降低內(nèi)部的熱量損失。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案：

一種LPCVD真空加熱腔室，所述加熱腔室內(nèi)自上而下順次設(shè)有加熱裝置、均熱板和玻璃基板，所述加熱腔室的腔壁上設(shè)有熱量屏蔽裝置。

優(yōu)選地，所述熱量屏蔽裝置包括漫反射板和鏡面反射板，所述鏡面反射板設(shè)于所述漫反射板與所述加熱腔室的腔壁之間。

優(yōu)選地，所述漫反射板為彎折板，所述鏡面反射板為平板。

優(yōu)選地，所述漫反射板為波紋板。

優(yōu)選地，所述波紋板包括順次連接的弧形凸板，所述弧形凸板朝向所述玻璃基板的方向凸起。

優(yōu)選地，所述熱量屏蔽裝置設(shè)置在所述加熱腔室的底壁和側(cè)壁上。

優(yōu)選地，所述漫反射板與所述鏡面反射板之間設(shè)有隔熱材料。

優(yōu)選地，所述加熱裝置為加熱燈管，所述加熱燈管均勻設(shè)置在所述均熱板的上方。

優(yōu)選地，所述加熱腔室內(nèi)還設(shè)有溫度傳感器，所述溫度傳感器與所述玻璃基板連接。

優(yōu)選地，所述加熱腔室的側(cè)壁上設(shè)有導(dǎo)軌，所述玻璃基板的邊緣設(shè)有與所述導(dǎo)軌匹配的滑塊，所述滑塊與所述導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。

本實(shí)用新型的有益效果在于：

本實(shí)用新型提供了一種LPCVD真空加熱腔室，所述加熱腔室內(nèi)自上而下順次設(shè)有加熱裝置、均熱板和玻璃基板，所述加熱腔室的腔壁上設(shè)有熱量屏蔽裝置；本實(shí)用新型通過(guò)在加熱腔室的內(nèi)部設(shè)置均熱板，可以保證玻玻璃基板上的玻璃受熱均勻，避免熱量集中，同時(shí)在加熱腔室的腔壁上設(shè)置熱量屏蔽裝置，可以將散逸到腔室壁上的熱量反射回腔室內(nèi)部，降低加熱腔室內(nèi)的熱量損失，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的LPCVD真空加熱腔室可以有效降低熱量損失，保證加熱腔室內(nèi)處于合適的溫度，降低加熱腔室的加熱成本。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的LPCVD真空加熱腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；