[實用新型]晶圓片去膠機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721687117.7
• 申請日: 2017-12-06
• 公開（公告）號: CN207503934U
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李繼忠;李述周;朱春
• 申請（專利權(quán)）人: 常州市科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225
• 代理人: 孫彬

1.一種晶圓片去膠機，包括本體，所述本體側(cè)面設(shè)有工件花籃進料口和出料口，所述本體正面設(shè)有透視窗，所述本體內(nèi)設(shè)有清洗槽和機械手裝置，所述機械手裝置自動將工件花籃放入清洗槽內(nèi)清洗，然后傳送到下個清洗槽進行清洗，所述清洗槽包括依次設(shè)置的第一水槽、超聲藥劑槽、第一超聲漂洗槽、第一酸槽、第二超聲漂洗槽、第二酸槽、快排漂洗槽和第二水槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述本體內(nèi)還設(shè)有拋動裝置，所述第一酸槽和第二酸槽分別連接拋動裝置，所述拋動裝置使得工件花籃在所述第一酸槽和第二酸槽內(nèi)進行升降運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述拋動裝置包括動力組件、支撐架和拋動架，所述拋動架設(shè)在兩支撐架之間，所述支撐架上設(shè)有可供拋動架垂直升降的滑道，所述動力組件驅(qū)動拋動架沿滑道垂直升降。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述拋動架前端設(shè)有放置工件花籃的固定架，所述固定架上有卡住工件花籃的吊鉤。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述機械手裝置包括橫桿、平移驅(qū)動裝置和吊臂，所述平移驅(qū)動裝置驅(qū)動吊臂在所述橫桿上左右移動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述吊臂包括滑桿和豎桿，所述滑桿與橫桿可滑動連接，所述豎桿上設(shè)有升降裝置和驅(qū)動升降裝置垂直升降的第二動力組件，所述升降裝置的端部設(shè)有吊鉤。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述快排漂洗槽連接在線加熱器，所述在線加熱器內(nèi)設(shè)有至少兩組加熱管。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述第一酸槽和第二酸槽分別連接有冷排管，所述第一酸槽和第二酸槽上部設(shè)有排風(fēng)管道，所述排風(fēng)管道連接所述本體上的排風(fēng)口。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述第一酸槽和第二酸槽內(nèi)設(shè)有加熱管，所述加熱管通過螺栓固定在所述第一酸槽和第二酸槽的內(nèi)壁上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓片去膠機，其特征在于：所述第一酸槽內(nèi)設(shè)有煙霧檢測器和滅火裝置，當(dāng)煙霧檢測器檢測到火花時及時啟動滅火裝置。