[實(shí)用新型]具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721687021.0
• 申請(qǐng)日: 2017-12-06
• 公開（公告）號(hào): CN207793414U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施栓林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/56
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;解立艷

本實(shí)用新型公開了一種具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，包括第一靶材鍍膜腔和第二靶材鍍膜腔，所述第一靶材鍍膜腔與所述第二靶材鍍膜腔之間設(shè)有隔離腔，所述隔離腔通過第一隔板與所述第一靶材鍍膜腔分隔，通過第二隔板與所述第二靶材鍍膜腔分隔，所述第一隔板和所述第二隔板上均具有狹縫和吹掃裝置；所述第一靶材鍍膜腔內(nèi)靠近所述第一隔板的一端設(shè)有第一泵腔，所述第二靶材鍍膜腔內(nèi)靠近所述第二隔板的一端設(shè)有第二泵腔，所述隔離腔、所述第一泵腔和所述第二泵腔內(nèi)均設(shè)有分子泵。本實(shí)用新型能夠有效解決鍍膜腔室間的氣氛飄逸問題，保證玻璃鍍膜質(zhì)量，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和制造成本低的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種鍍膜設(shè)備，特別是一種具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

在板材鍍膜設(shè)備中，根據(jù)不同的制程工藝，需要不同種類的靶材同時(shí)濺射沉積鍍膜，每種靶材都有相應(yīng)的工藝要求，在有主濺射氣體的同時(shí)，還需要加入輔助濺射氣體，如O₂，H₂，N₂等，多種靶材的濺射過程是在同一個(gè)真空腔室發(fā)生的，為了在制程工藝中不同靶材之間反應(yīng)氣體互不影響，需要將不同靶材濺射工藝分隔開，來保證鍍膜質(zhì)量。

如圖1所示，現(xiàn)有的隔離方式通常是在根據(jù)不同靶材濺射工藝分別設(shè)置加工腔室100，工藝腔室100之間添加一個(gè)隔離腔200，隔離腔200內(nèi)配有分子泵300來抽氣，前后隔離腔200各安裝一個(gè)翻板閥400來代替腔體間的門板，以實(shí)現(xiàn)不同工藝腔室氣體的隔離，其造價(jià)貴，要求高，必須要有自動(dòng)化控制。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)問題，它能夠有效隔離鍍膜設(shè)備的各個(gè)腔室，防止腔室間氣體飄逸，保證玻璃鍍膜質(zhì)量，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和制造成本低的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型提供了一種具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，包括第一靶材鍍膜腔和第二靶材鍍膜腔，所述第一靶材鍍膜腔與所述第二靶材鍍膜腔之間設(shè)有隔離腔，所述隔離腔通過第一隔板與所述第一靶材鍍膜腔分隔，通過第二隔板與所述第二靶材鍍膜腔分隔，所述第一隔板和所述第二隔板上均具有狹縫和吹掃裝置；所述第一靶材鍍膜腔內(nèi)靠近所述第一隔板的一端設(shè)有第一泵腔，所述第二靶材鍍膜腔內(nèi)靠近所述第二隔板的一端設(shè)有第二泵腔，所述隔離腔、所述第一泵腔和所述第二泵腔內(nèi)均設(shè)有分子泵。

前述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備中，優(yōu)選地，所述第一隔板和所述第二隔板上的所述吹掃裝置均位于所述隔離腔內(nèi)。

前述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備中，優(yōu)選地，所述吹掃裝置包括氣管、端板和流量控制閥，所述端板為2個(gè)，分別固定在所述狹縫長(zhǎng)度方向上的兩端，所述氣管固定在2個(gè)所述端板上，所述氣管的進(jìn)氣端與所述流量控制閥的出氣端連接，所述流量控制閥的進(jìn)氣端通過管路與氣源連接，所述氣管上具有噴嘴。

前述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備中，優(yōu)選地，所述氣管為環(huán)形結(jié)構(gòu)。

前述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備中，優(yōu)選地，所述噴嘴的噴氣方向朝向所述狹縫，所述噴嘴與所述狹縫的夾角為30°-60°度。

前述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備中，優(yōu)選地，所述噴嘴與所述狹縫的夾角為45°。

前述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備中，優(yōu)選地，所述狹縫的內(nèi)壁面為粗糙面。

前述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備中，優(yōu)選地，所述隔離腔內(nèi)的所述分子泵為4個(gè)。

前述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備中，優(yōu)選地，所述第一泵腔和所述第二泵腔內(nèi)均設(shè)有2個(gè)所述分子泵。