[實(shí)用新型]具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721687021.0
• 申請(qǐng)日: 2017-12-06
• 公開（公告）號(hào): CN207793414U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施栓林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京鉑陽(yáng)頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/56
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;解立艷

1.一種具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，包括第一靶材鍍膜腔(1)和第二靶材鍍膜腔(2)，所述第一靶材鍍膜腔(1)與所述第二靶材鍍膜腔(2)之間設(shè)有隔離腔(3)，其特征在于：所述隔離腔(3)通過(guò)第一隔板(5)與所述第一靶材鍍膜腔(1)分隔，通過(guò)第二隔板(6)與所述第二靶材鍍膜腔(2)分隔，所述第一隔板(5)和所述第二隔板(6)上均具有狹縫(7)和設(shè)有吹掃裝置(8)；所述第一靶材鍍膜腔(1)內(nèi)靠近所述第一隔板(5)的一端設(shè)有第一泵腔(13)，所述第二靶材鍍膜腔(2)內(nèi)靠近所述第二隔板(6)的一端設(shè)有第二泵腔(14)，所述隔離腔(3)、所述第一泵腔(13)和所述第二泵腔(14)內(nèi)均設(shè)有分子泵(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述第一隔板(5)和所述第二隔板(6)上的所述吹掃裝置(8)均位于所述隔離腔(3)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述吹掃裝置(8)包括氣管(9)、端板(10)和流量控制閥(11)，所述端板(10)為2個(gè)，分別固定在所述狹縫(7)長(zhǎng)度方向上的兩端，所述氣管(9)固定在2個(gè)所述端板(10)上，所述氣管(9)的進(jìn)氣端與所述流量控制閥(11)的出氣端連接，所述流量控制閥(11)的進(jìn)氣端通過(guò)管路與氣源連接，所述氣管(9)上具有噴嘴(12)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述氣管(9)為環(huán)形結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述噴嘴(12)的噴氣方向朝向所述狹縫(7)，所述噴嘴(12)與所述狹縫(7)的夾角為30°-60°度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述噴嘴(12)與所述狹縫(7)的夾角為45°。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述狹縫(7)的內(nèi)壁面為粗糙面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述隔離腔(3)內(nèi)的所述分子泵(4)為4個(gè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防氣體飄逸功能的板材鍍膜設(shè)備，其特征在于：所述第一泵腔(13)和所述第二泵腔(14)內(nèi)均設(shè)有2個(gè)所述分子泵(4)。