[實(shí)用新型]一種單晶硅晶圓切片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721686231.8
• 申請(qǐng)日: 2017-12-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207711095U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孔凡偉;段花山;朱坤恒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東晶導(dǎo)微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/02
• 分類號(hào): B28D5/02;B28D7/00
• 代理公司: 濟(jì)寧匯景知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37254
• 代理人: 徐國(guó)印

1.一種單晶硅晶圓切片裝置，包括盒體（1），其特征在于，所述盒體（1）內(nèi)設(shè)有預(yù)設(shè)數(shù)量的限位環(huán)（3），位于頂部的所述限位環(huán)（3）設(shè)有抵壓機(jī)構(gòu)（13），所述限位環(huán)（3）通過(guò)支撐桿（2）與盒體（1）的內(nèi)側(cè)壁連接，所述盒體（1）內(nèi)設(shè)有活動(dòng)塊（4），所述活動(dòng)塊（4）上固定連接有上固定板（5）和下固定板（6），所述上固定板（5）的頂部固定連接有電機(jī)（7），所述電機(jī)（7）的輸出端固定連接有轉(zhuǎn)軸（8），所述轉(zhuǎn)軸（8）上固定套接有預(yù)設(shè)數(shù)量的切刀（9），所述切刀（9）位于相鄰兩個(gè)限位環(huán)（3）之間，所述盒體（1）內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋桿（10），所述活動(dòng)塊（4）上設(shè)有與螺紋桿（10）對(duì)應(yīng)的螺紋口，所述螺紋桿（10）的一端貫穿盒體（1）并固定連接有L型把手（11），所述盒體（1）內(nèi)固定連接有固定軸（12），所述活動(dòng)塊（4）上設(shè)有與固定軸（12）對(duì)應(yīng)的通口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅晶圓切片裝置，其特征在于，所述抵壓機(jī)構(gòu)（13）包括限位盤(pán)（131），所述限位盤(pán)（131）的底部設(shè)有抵壓盤(pán)（132），所述抵壓盤(pán)（132）的頂部固定連接有銜接桿（133），所述銜接桿（133）的頂部貫穿限位盤(pán)（131）并向上延伸，所述銜接桿（133）上套設(shè)有彈簧（134），所述彈簧（134）的兩端分別與抵壓盤(pán)（132）的頂部和限位盤(pán)（131）的底部連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶硅晶圓切片裝置，其特征在于，所述限位盤(pán)（131）通過(guò)預(yù)設(shè)數(shù)量的螺栓（14）與頂部的限位環(huán)（3）連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅晶圓切片裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸（8）上固定套接有預(yù)設(shè)數(shù)量的限位套（15），所述限位套（15）位于切刀（9）的兩側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅晶圓切片裝置，其特征在于，所述通口內(nèi)固定連接有滑塊，所述固定軸（12）上設(shè)有與滑塊對(duì)應(yīng)的滑槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅晶圓切片裝置，其特征在于，所述盒體（1）上設(shè)有與螺紋桿（10）對(duì)應(yīng)的貫穿口，所述貫穿口的內(nèi)側(cè)壁等距環(huán)繞設(shè)有預(yù)設(shè)數(shù)量的收納槽，所述收納槽內(nèi)設(shè)有滾珠，所述滾珠與螺紋桿（10）接觸。