[實(shí)用新型]具有天線組件的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721686036.5 | 申請(qǐng)日: | 2017-12-07 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN207517678U | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-06-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳彥亨;林正忠;吳政達(dá);林章申 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 中芯長(zhǎng)電半導(dǎo)體(江陰)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L23/66 | 分類(lèi)號(hào): | H01L23/66;H01L23/373;H01L23/15;H01L23/31;H01Q1/22 |
| 代理公司: | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 佟婷婷 |
| 地址: | 214437 江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基板 半導(dǎo)體芯片 重新布線層 天線組件 金屬凸塊 半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu) 本實(shí)用新型 第二表面 第一表面 塑封材料 電連接 封裝 熱效應(yīng) 不易翹曲 封裝效率 后續(xù)工藝 熱傳導(dǎo)性 石英玻璃 石英片 中芯片 包覆 良率 翹曲 塑封 斷裂 包圍 保證 | ||
本實(shí)用新型提供一種具有天線組件的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),包括:基板,具有第一表面及第二表面;重新布線層,位于第一表面上;金屬凸塊,電連接于重新布線層遠(yuǎn)離基板的一側(cè);半導(dǎo)體芯片,電連接于重新布線層遠(yuǎn)離基板一側(cè)的表面;塑封材料層,包圍金屬凸塊及半導(dǎo)體芯片;天線組件,位于第二表面上,通過(guò)上述方案,本實(shí)用新型塑封材料層全部包覆半導(dǎo)體芯片,保證封裝穩(wěn)定性,將半導(dǎo)體芯片與金屬凸塊同時(shí)塑封,提高封裝效率以及良率,將天線組件與重新布線層設(shè)置于基板的兩個(gè)相對(duì)的表面,有利于進(jìn)行合理封裝布局,選擇石英玻璃等作為基板,熱傳導(dǎo)性良好,解決了熱效應(yīng)的問(wèn)題,由于石英片無(wú)翹曲問(wèn)題,保證在后續(xù)工藝中芯片不易翹曲以及斷裂等。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種具有天線組件的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
隨著集成電路的功能越來(lái)越強(qiáng)、性能和集成度越來(lái)越高,以及新型的集成電路出現(xiàn),封裝技術(shù)在集成電路產(chǎn)品中扮演著越來(lái)越重要的角色,在整個(gè)電子系統(tǒng)的價(jià)值中所占的比例越來(lái)越大。同時(shí),隨著集成電路特征尺寸達(dá)到納米級(jí),晶體管向更高密度、更高的時(shí)鐘頻率發(fā)展,封裝也向更高密度的方向發(fā)展
由于扇出晶圓級(jí)封裝(fowlp)技術(shù)由于具有小型化、低成本和高集成度等優(yōu)點(diǎn),以及具有更好的性能和更高的能源效率,扇出晶圓級(jí)封裝(fowlp)技術(shù)已成為高要求的移動(dòng)/無(wú)線網(wǎng)絡(luò)等電子設(shè)備的重要的封裝方法,是目前最具發(fā)展前景的封裝技術(shù)之一。另外,出于通信效果的考慮,射頻芯片在使用時(shí)都會(huì)設(shè)置天線。但是,現(xiàn)有射頻天線都是開(kāi)發(fā)者在對(duì)射頻功能模塊進(jìn)行l(wèi)ayout設(shè)計(jì)時(shí),直接在PCB板上layout天線或留出外接天線的接口,現(xiàn)有射頻天線大多直接在PCB板上layout天線,而此種方法要保證天線增益,就必須以犧牲PCB面積為代價(jià)。并且采用塑封等工藝的扇出型晶圓級(jí)封裝在翹曲等方面控制困難,翹曲現(xiàn)象難以得到緩解,并且封裝過(guò)程中材料的漲縮等可能引起滑移以及錯(cuò)位等問(wèn)題,也難以得到控制,熱傳導(dǎo)性差,引起熱效應(yīng)的問(wèn)題等,另外,由于各部件的制備工藝及選擇,容易造成各部件之間的相對(duì)移動(dòng)以及存在各部件之間結(jié)合強(qiáng)度差等問(wèn)題。
因此,如何提供一種具有天線的低成本的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)以解決現(xiàn)有技術(shù)中容易發(fā)生翹曲、各部件之間容易造成位移及結(jié)合強(qiáng)度差以及熱傳導(dǎo)差導(dǎo)致的熱效應(yīng)問(wèn)題等實(shí)屬必要。
實(shí)用新型內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的在于提供一種具有天線組件的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),用于解決現(xiàn)有技術(shù)中易發(fā)生翹曲、各部件之間容易造成位移及結(jié)合強(qiáng)度差、封裝工藝復(fù)雜以及熱傳導(dǎo)差導(dǎo)致的熱效應(yīng)問(wèn)題的問(wèn)題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本實(shí)用新型提供一種具有天線組件的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:
基板,所述基板具有相對(duì)的第一表面及第二表面;
重新布線層,位于所述基板的第一表面上;
金屬凸塊,位于所述重新布線層遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)并與所述重新布線層電連接;
半導(dǎo)體芯片,位于所述重新布線層遠(yuǎn)離所述基板一側(cè)的表面,并與所述重新布線層電連接,且所述半導(dǎo)體芯片與所述金屬凸塊之間具有間距;
塑封材料層,位于所述重新布線層遠(yuǎn)離所述基板一側(cè)的表面,且包圍所述金屬凸塊及所述半導(dǎo)體芯片,并顯露部分所述金屬凸塊及部分所述半導(dǎo)體芯片;以及
天線組件,位于所述基板的第二表面上。
作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案,所述塑封材料層包括聚酰亞胺層、硅膠層以及環(huán)氧樹(shù)脂層中的任意一種。
作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案,所述基板包括石英玻璃基板或藍(lán)寶石基板。
作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案,所述重新布線層的結(jié)構(gòu)具體包括:
介質(zhì)層,接合于所述基板的第一表面上;
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