[實用新型]一種載片盒有效
| 申請號： | 201721677831.8 | 申請日： | 2017-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN207896069U | 公開（公告）日： | 2018-09-21 |
| 發明（設計）人： | 徐炳飛 | 申請（專利權）人： | 中建材浚鑫科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人： | 姚姣陽 |
| 地址： | 214443 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 載片盒 底板 長方體盒體 硅片碎片 背板 側板 卡槽 本實用新型 正方形結構 側板平行 與操作 邊長 敞口 劃傷 片盒 圍設 沾污 生產成本 匹配 運輸 搬運 合格率 體內 | ||
【權利要求書】：
1.一種載片盒，用于運輸硅片，其特征在于：所述載片盒包括底板、背板和側板，所述底板、背板和側板圍設成一個長方體盒體，所述長方體盒體的頂部及至少一個側部為敞口開設，所述盒體內開設有至少4個用于放置硅片的卡槽，每個所述卡槽的方向與側板平行，所述硅片為正方形結構，所述卡槽的長度與硅片邊長相匹配。
2.根據權利要求1所述的一種載片盒，其特征在于：每個所述卡槽內均設有柔面層。
3.根據權利要求1所述的一種載片盒，其特征在于：所述卡槽等間距地開設于盒體內。
4.根據權利要求1所述的一種載片盒，其特征在于：所述底板的下方設置有至少2個滾動裝置，所述滾動裝置滾動帶動載片盒運動。
5.根據權利要求1所述的一種載片盒，其特征在于：所述底板的側面設置有至少2個滾動裝置，所述滾動裝置滾動帶動載片盒運動。
6.根據權利要求4或5所述的一種載片盒，其特征在于：所述滾動裝置還包括一個自鎖結構，所述自鎖結構用于控制滾動裝置的開閉。
7.根據權利要求1所述的一種載片盒，其特征在于：所述側板或背板上設置有用于運輸的把手。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
