[實用新型]一種基于微機電探針的懸臂梁式探針卡

有效

• 申請號: 201721647248.2
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN207528783U
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 劉明星
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

本實用新型公開了一種基于微機電探針的懸臂梁式探針卡，其中補強板、PCB印刷電路板、封裝基板、多個微機電探針和防塵罩，PCB印刷電路板設置在補強板上，封裝基板由多塊封裝基板單元組合形成，每兩列微機電探針陣列設置在一個封裝基板單元上，補強板上設有配合防塵罩安裝的卡槽，防塵罩通過卡槽設置在補強板上。本實用新型采用微機電探針，可測試更小間距的芯片，可大規模并行測試，提高測試效率；封裝基板單元組合形成封裝基板，更換方便，節約成本；防塵罩保護探針卡，提高壽命。

技術領域

本實用新型屬于探針卡技術領域，具體涉及一種基于微機電探針的懸臂梁式探針卡。

背景技術

探針卡是一種測試接口，主要對裸芯進行測試，通過連接測試機和芯片，通過傳輸信號對芯片參數進行測試，探針卡應用在IC尚未封裝前，針對裸晶系以探針做功能測試，篩選出不良品、再進行之后的封裝工程。因此，探針卡是IC制造中對制造成本影響相當大的重要制程之一。

隨著芯片尺寸的減小，芯片管腳間距越來越小，傳統的基于機械加工探針的懸臂梁結構探針卡已無法滿足測試要求，使用環氧樹脂固定，難以保證高精度，同時，傳統的懸臂式探針卡很難滿足大規模并行測試的要求；當探針損壞時，需要更換整塊封裝基板，浪費材料；市面上的探針卡都沒有配被防塵罩，使探針卡暴露在空氣中，容易損壞，較少壽命。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供采用微機電探針，封裝基板單元組合形成封裝基板并配備有防塵罩的一種基于微機電探針的懸臂梁式探針卡。

為達上述目的，本實用新型的主要技術解決手段是提供一種基于微機電探針的懸臂梁式探針卡，其中補強板、PCB印刷電路板、封裝基板、多個微機電探針和防塵罩，PCB印刷電路板設置在補強板上，封裝基板由多塊封裝基板單元組合形成，每兩列微機電探針陣列設置在一個封裝基板單元上，補強板上設有配合防塵罩安裝的卡槽，防塵罩通過卡槽設置在補強板上。

作為一種改進，PCB印刷電路板通過螺絲緊固在補強板上，螺絲緊固加強結構穩定性。

作為一種改進，補強板、PCB印刷電路板、封裝基板和防塵罩均為圓形。

作為一種改進，直徑由大到小依次為補強板、防塵罩、PCB印刷電路板和封裝基板，安裝有序方便。

作為一種改進，卡槽有兩個，分別設置在補強板的兩側，卡槽固定防塵罩，拆裝方便，不影響探針卡的使用。

作為一種改進，封裝基板單元有五個，組合形成封裝基板。

本實用新型有益效果是：本實用新型采用微機電探針，可測試更小間距的芯片，可大規模并行測試，提高測試效率；封裝基板單元組合形成封裝基板，更換方便，節約成本；防塵罩保護探針卡，提高壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施例的結構示意圖，

圖2是本實用新型圖1實施例的剖視圖，

圖中：補強板1、PCB印刷電路板2、封裝基板3、封裝基板單元31、微機電探針4、防塵罩5、卡槽6。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。