[實用新型]一種基于微機電探針的懸臂梁式探針卡

有效

• 申請號: 201721647248.2
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN207528783U
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 劉明星
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

1.一種基于微機電探針的懸臂梁式探針卡，其特征在于，包括補強板(1)、PCB印刷電路板(2)、封裝基板(3)、多個微機電探針(4)和防塵罩(5)，所述PCB印刷電路板(2)設置在補強板(1)上，所述封裝基板(3)由多塊封裝基板單元(31)組合形成，每兩列微機電探針(4)陣列設置在一個封裝基板單元(31)上，所述補強板(1)上設有配合防塵罩(5)安裝的卡槽(6)，防塵罩(5)通過卡槽(6)設置在補強板(1)上。

2.根據權利要求1所述的基于微機電探針的懸臂梁式探針卡，其特征在于，所述PCB印刷電路板(2)通過螺絲緊固在補強板(1)上。

3.根據權利要求1所述的基于微機電探針的懸臂梁式探針卡，其特征在于，所述補強板(1)、PCB印刷電路板(2)、封裝基板(3)和防塵罩(5)均為圓形。

4.根據權利要求3所述的基于微機電探針的懸臂梁式探針卡，其特征在于，直徑由大到小依次為補強板(1)、防塵罩(5)、PCB印刷電路板(2)和封裝基板(3)。

5.根據權利要求1所述的基于微機電探針的懸臂梁式探針卡，其特征在于，所述卡槽(6)有兩個，分別設置在補強板(1)的兩側。

6.根據權利要求1所述的基于微機電探針的懸臂梁式探針卡，其特征在于，所述封裝基板單元(31)有五個，組合形成封裝基板(3)。