[實用新型]真空蒸鍍裝置及其蒸發頭

有效

• 申請號: 201721643780.7
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207918942U
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 陳勇輝;郝征;李志丹;張俊
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

本實用新型提供了一種真空蒸鍍裝置及其蒸發頭。所述蒸發頭包括蒸發頭腔體，還包括多個噴射方向不同且噴射方向互不相交的噴嘴，所述多個噴嘴與所述蒸發頭腔體連通。實用新型采用蒸發頭具有多個噴嘴，實現了多張需蒸鍍基底同時蒸鍍的目的。另外，本實用新型與現有技術相比縮小了掩模板的尺寸，可以減少或避免掩模板過大所引起的形變問題，同時使用縮小后的掩模板有利于提高對位精準度以及產品分辨率。

技術領域

本實用新型涉及真空蒸鍍領域，尤其涉及一種真空蒸鍍裝置及其蒸發頭。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light Emitting Display，簡稱OLED)采用的是一項基于有機薄膜的自有光源顯示屏技術，具有自發光、刷新速度快、低能耗、高對比度、低溫特性好以及卷曲應用等優勢，是一種非常有前景的顯示技術，被稱為“夢幻顯示器”。隨著OLED行業發展，對于OLED要求越來越高，如大尺寸、高分辨率、高穩定性、長壽命和低成本。

蒸鍍是OLED制造工藝的重要組成部分，其是通過金屬掩模板 (FMM，也稱掩模板)的精密開孔將有機發光材料蒸鍍到基板(例如玻璃基板)上。在顯示屏的應用中，消費者越來越關注分辨率，特別是虛擬現實技術(Virtual Reality，簡稱VR)的問世，更是對分辨率提出了苛刻的要求，這就要求金屬掩模板必須突破高分辨率難題。

另外，發明人研究發現，隨著OLED向大尺寸方向的發展，如果采用現有的真空蒸鍍裝置則需要適應性配置大尺寸的掩模板，將需要更高的張網精度和蒸鍍對準精度，同時避免出現掩模板過大所引起的形變問題。

此外，發明人還發現，現有的真空蒸鍍裝置在一個蒸鍍室中一次只能實現一張需蒸鍍基底的蒸鍍，產能較低。

實用新型內容

本實用新型的目的之一在于，提供一種可以在一個蒸鍍室中同時實現多張需蒸鍍基底蒸鍍，以提高產能的真空蒸鍍裝置及其蒸發頭。

本實用新型的另一目的在于，提供一種可以有效改善掩模板形變引起的對位精度較低及產品分辨率較低的真空蒸鍍裝置及其蒸發頭。

本實用新型的再一目的在于，提供一種可以改善蒸鍍后的薄膜均勻性較差的真空蒸鍍裝置及其蒸發頭。

為實現上述目的，本實用新型的第一方面提供一種真空蒸鍍裝置的蒸發頭，用于向需蒸鍍基底噴射蒸鍍材料，包括蒸發頭腔體，其特征在于，還包括多個噴射方向不同且噴射方向互不相交的噴嘴，所述多個噴嘴均與所述蒸發頭腔體連通。

可選的，所述噴嘴的數量為兩個，兩個所述噴嘴的噴射方向相反。

可選的，所述蒸發頭腔體是長方體、正方體、柱狀結構、橢球狀結構或球狀結構，所述噴嘴是由多塊擋板圍成的兩端開口的結構，所述噴嘴的一端固定在所述蒸發頭腔體上，所述噴嘴的另一端朝向對應設置的需蒸鍍基底，通過設置于所述蒸發頭腔體上的通孔使所述多個噴嘴均與所述蒸發頭腔體連通。

可選的，還包括設置于所述蒸發頭腔體內的增壓的組件，用于增加蒸鍍材料的噴射強度。

本實用新型的第二方面提供一種真空蒸鍍裝置，所述真空蒸鍍裝置包括蒸發頭。

可選的，所述真空蒸鍍裝置還包括：蒸發源，用于將固態蒸鍍材料轉換為氣態蒸鍍材料；蒸鍍室，用于提供將氣態蒸鍍材料蒸鍍到需蒸鍍基底上的環境；以及輸送管，連接所述蒸發源和所述蒸發頭，用于向所述蒸發頭輸送氣態蒸鍍材料。

可選的，所述真空蒸鍍裝置還包括：蒸發頭固定機構，用于固定蒸發頭并可帶動所述蒸發頭移動；掩模板固定機構，用于固定掩膜板并可帶動所述掩膜板移動；以及基底固定機構，用于固定需蒸鍍基底并可帶動所述需蒸鍍基底移動。

可選的，所述每個噴嘴的噴射方向上對應設置有一個掩模板固定機構和一個基底固定機構。

可選的，所述掩模板、需蒸鍍基底、蒸發頭之間相互平行設置。