[實用新型]涂膠裝置有效
| 申請號： | 201721643772.2 | 申請日： | 2017-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN207502910U | 公開（公告）日： | 2018-06-15 |
| 發明（設計）人： | 趙濱;陳勇輝 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 承載臺 吹氣機構 涂膠裝置 本實用新型 吹氣 光刻膠涂布 基底表面 光刻膠 基底 涂膠 承載 移動 | ||
1.一種涂膠裝置，其特征在于，包括承載臺和吹氣機構，所述承載臺用于承載基底，所述吹氣機構在基底點膠后移動至所述承載臺的上方并向所述承載臺吹氣，以使光刻膠均勻涂布于所述基底表面。
2.如權利要求1所述的涂膠裝置，其特征在于，所述吹氣機構包括供氣單元以及噴氣單元，所述供氣單元與所述噴氣單元連接并用于向所述噴氣單元供氣，所述噴氣單元面向所述承載臺并向所述承載臺吹氣。
3.如權利要求2所述的涂膠裝置，其特征在于，所述噴氣單元面向所述承載臺的一側具有多個通氣孔，通過所述通氣孔向所述承載臺吹氣。
4.如權利要求3所述的涂膠裝置，其特征在于，所述多個通氣孔均勻分布，所述多個通氣孔的孔徑小于或等于1mm。
5.如權利要求2所述的涂膠裝置，其特征在于，所述噴氣單元面向所述承載臺的一側具有一個條狀縫隙；或者，所述噴氣單元面向所述承載臺的一側設置有兩個相互垂直的條狀縫隙。
6.如權利要求5所述的涂膠裝置，其特征在于，所述基底為圓形基底，所述條狀縫隙的長度大于或等于所述圓形基底的直徑，所述條狀縫隙的寬度在0.5mm～5mm之間。
7.如權利要求2所述的涂膠裝置，其特征在于，所述噴氣單元由多孔介質材料制成，通過所述多孔介質材料的孔隙向所述承載臺吹氣。
8.如權利要求2所述的涂膠裝置，其特征在于，所述噴氣單元為圓盤狀結構或圓錐狀結構。
9.如權利要求8所述的涂膠裝置，其特征在于，所述基底為圓形基底，所述噴氣單元面向所述承載臺的表面的直徑大于或等于所述圓形基底的直徑。
10.如權利要求1至9中任一項所述的涂膠裝置，其特征在于，所述吹氣機構面向所述承載臺的表面與所述承載臺的距離在0.1mm～2mm之間。
11.如權利要求1至9中任一項所述的涂膠裝置，其特征在于，還包括一吹氣機構驅動單元，所述吹氣機構驅動單元與所述吹氣機構連接并用于驅動所述吹氣機構移動。
12.如權利要求1所述的涂膠裝置，其特征在于，所述承載臺包括支撐盤、支撐柱和承載臺驅動單元，所述支撐盤與支撐柱固定連接，所述承載臺驅動單元用于驅動所述支撐柱和支撐盤旋轉。
13.如權利要求12所述的涂膠裝置，其特征在于，所述支撐盤側面設置有斜向上或水平吹氣的支撐盤噴氣單元。
14.如權利要求12所述的涂膠裝置，其特征在于，所述支撐盤的直徑小于承載的基底的直徑。
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