[實用新型]一種新型射頻離子源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721642914.3
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207602507U
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周焱文
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢普迪真空科技有限公司
• 主分類號: H01J3/04
• 分類號: H01J3/04;H01J3/12
• 代理公司: 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

本實用新型涉及射頻離子源技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種新型射頻離子源，包括射頻離子源本體和安裝射頻離子源本體的底座，所述底座的上側(cè)中部橫向開設(shè)有凹槽，所述凹槽內(nèi)安裝有直線電機，所述直線電機的上部安裝有射頻離子源本體，所述底座的上部一側(cè)開設(shè)有與凹槽垂直的滑槽，所述安裝孔內(nèi)均固定設(shè)置有軸承，兩個所述調(diào)節(jié)螺桿遠離限位螺母的一端均貫穿第二螺孔與軸承連接，所述滑槽靠近固定塊的兩側(cè)均設(shè)置有調(diào)節(jié)塊，兩個所述調(diào)節(jié)螺桿分別插設(shè)在兩個第一螺孔內(nèi)，兩個所述調(diào)節(jié)塊的上部均設(shè)置有固定裝置，兩個所述固定裝置的頂部通過鎖緊螺栓連接，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，方便使用，便于調(diào)節(jié)，能夠適用不同設(shè)備安裝使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及射頻離子源技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型射頻離子源。

背景技術(shù)

離子源，是使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置。它是各種類型的離子加速器、質(zhì)譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機、離子束刻蝕裝置、離子推進器以及受控聚變裝置中的中性束注入器等設(shè)備的不可缺少的部件。但現(xiàn)有的射頻離子源不能夠調(diào)節(jié)，適用性差，不方便固定。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在不能夠調(diào)節(jié)，適用性差等缺點，而提出的一種新型射頻離子源。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：

設(shè)計一種新型射頻離子源，包括射頻離子源本體和安裝射頻離子源本體的底座，所述底座的上側(cè)中部橫向開設(shè)有凹槽，所述凹槽內(nèi)安裝有直線電機，所述直線電機的上部安裝有射頻離子源本體，所述底座的上部一側(cè)開設(shè)有與凹槽垂直的滑槽，所述底座靠近滑槽的兩端均開設(shè)有第二螺孔，所述第二螺孔內(nèi)均設(shè)置有調(diào)節(jié)螺桿，所述調(diào)節(jié)螺桿的上設(shè)置有限位螺母，所述限位螺母與底座連接，所述滑槽的中部固定安裝有固定塊，所述固定塊的兩側(cè)均開設(shè)有安裝孔，所述安裝孔內(nèi)均固定設(shè)置有軸承，兩個所述調(diào)節(jié)螺桿遠離限位螺母的一端均貫穿第二螺孔與軸承連接，所述滑槽靠近固定塊的兩側(cè)均設(shè)置有調(diào)節(jié)塊，兩個調(diào)節(jié)塊上均開設(shè)有第一螺孔，兩個所述調(diào)節(jié)螺桿分別插設(shè)在兩個第一螺孔內(nèi)，兩個所述調(diào)節(jié)塊的上部均設(shè)置有固定裝置，兩個所述固定裝置的頂部通過鎖緊螺栓連接。

優(yōu)選的，所述固定裝置包括固定板，所述固定板的頂部均設(shè)置有連接塊，所述連接塊上均開設(shè)有通孔，兩個所述通孔之間通過鎖緊螺栓連接。

優(yōu)選的，兩塊所述固定板均圓弧型結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述凹槽的一端設(shè)置在滑槽的一側(cè)中部。

本實用新型提出的一種新型射頻離子源，有益效果在于：通過在底座的設(shè)備開設(shè)凹槽，在凹槽內(nèi)安裝直線電機，并將射頻離子源本體安裝在直線電機上，方便調(diào)節(jié)射頻離子源本體與使用設(shè)備之間的距離，保證使用效果，通過在底座的上部一側(cè)開設(shè)滑槽，在滑槽內(nèi)安裝兩個可調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)塊，在調(diào)節(jié)塊的上部安裝固定裝置，保證能夠固定在不同時的設(shè)備上，適用性強，方便使用，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，方便使用，便于調(diào)節(jié)，能夠適用不同設(shè)備安裝使用。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種新型射頻離子源的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型提出的一種新型射頻離子源的結(jié)構(gòu)左視圖。

圖中：底座1、直線電機2、調(diào)節(jié)螺栓3、凹槽4、射頻離子源本體5、調(diào)節(jié)塊6、第一螺孔61、固定裝置7、固定板71、連接塊72、鎖緊螺栓73、通孔74、軸承8、固定塊9、滑槽10、限位螺母11、第二螺孔12、調(diào)節(jié)螺桿13。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。