[實用新型]一種新型射頻離子源

有效

• 申請號: 201721642914.3
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207602507U
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 周焱文
• 申請（專利權）人: 武漢普迪真空科技有限公司
• 主分類號: H01J3/04
• 分類號: H01J3/04;H01J3/12
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

1.一種新型射頻離子源，包括射頻離子源本體(5)和安裝射頻離子源本體(5)的底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上側中部橫向開設有凹槽(4)，所述凹槽(4)內安裝有直線電機(2)，所述直線電機(2)的上部安裝有射頻離子源本體(5)，所述底座(1)的上部一側開設有與凹槽(4)垂直的滑槽(10)，所述底座(1)靠近滑槽(10)的兩端均開設有第二螺孔(12)，所述第二螺孔(12)內均設置有調節螺桿(13)，所述調節螺桿(13)的上設置有限位螺母(11)，所述限位螺母(11)與底座(1)連接，所述滑槽(10)的中部固定安裝有固定塊(9)，所述固定塊(9)的兩側均開設有安裝孔，所述安裝孔內均固定設置有軸承(8)，兩個所述調節螺桿(13)遠離限位螺母(11)的一端均貫穿第二螺孔(12)與軸承(8)連接，所述滑槽(10)靠近固定塊(9)的兩側均設置有調節塊(6)，兩個調節塊(6)上均開設有第一螺孔(61)，兩個所述調節螺桿(13)分別插設在兩個第一螺孔(61)內，兩個所述調節塊(6)的上部均設置有固定裝置(7)，兩個所述固定裝置(7)的頂部通過鎖緊螺栓(73)連接。

2.根據權利要求1所述的一種新型射頻離子源，其特征在于：所述固定裝置(7)包括固定板(71)，所述固定板(71)的頂部均設置有連接塊(72)，所述連接塊(72)上均開設有通孔(74)，兩個所述通孔(74)之間通過鎖緊螺栓(73)連接。

3.根據權利要求2所述的一種新型射頻離子源，其特征在于：兩塊所述固定板(71)均圓弧型結構。

4.根據權利要求1所述的一種新型射頻離子源，其特征在于：所述凹槽(4)的一端設置在滑槽(10)的一側中部。