[實用新型]磁流體密封裝置及半導(dǎo)體設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721638653.8 | 申請日： | 2017-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN207935445U | 公開（公告）日： | 2018-10-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 石志平;吳宗祐;林宗賢 | 申請（專利權(quán)）人： | 德淮半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | F16J15/43 | 分類號： | F16J15/43 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 磁流體密封裝置 環(huán)形磁極 本實用新型 磁流體 半導(dǎo)體設(shè)備 通孔 平行間隔排布 環(huán)形永磁體 高度穩(wěn)定 機械磨損 使用壽命 微粒產(chǎn)生 有機物 動密封 揮發(fā)量 靜密封 蒸氣壓 二酯 密封 泄漏 維修 污染 | ||
1.一種磁流體密封裝置，其特征在于，所述磁流體密封裝置包括：
兩個平行間隔排布的環(huán)形磁極，所述環(huán)形磁極內(nèi)形成有第一通孔，兩所述環(huán)形磁極的第一通孔對應(yīng)設(shè)置；
環(huán)形永磁體，位于兩所述環(huán)形磁極之間；
磁流體，位于各所述環(huán)形磁極內(nèi)側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁流體密封裝置，其特征在于：兩所述環(huán)形磁極的間距與所述環(huán)形永磁體的厚度相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁流體密封裝置，其特征在于：所述環(huán)形永磁體包括永磁鐵。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁流體密封裝置，其特征在于：所述磁流體呈環(huán)形分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁流體密封裝置，其特征在于：所述磁流體包括二酯基磁流體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁流體密封裝置，其特征在于：所述環(huán)形永磁體內(nèi)形成有第二通孔，所述第二通孔的中軸線與所述第一通孔的中軸線相重合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磁流體密封裝置，其特征在于：所述磁流體密封裝置還包括非磁性外殼，所述非磁性外殼套置于所述環(huán)形磁極、所述環(huán)形永磁體及所述磁流體外圍；所述非磁性外殼內(nèi)設(shè)有第三通孔，所述第三通孔的中軸線與所述第一通孔的中軸線及所述第二通孔的中軸線相重合。
8.一種半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備包括：
運動軸；
至少一個如權(quán)利要求1至7中任一項所述的磁流體密封裝置；其中，所述環(huán)形磁極套置于所述運動軸的外圍，且兩所述環(huán)形磁極沿所述運動軸的長度方向排布；所述環(huán)形永磁體套置于所述運動軸的外圍；所述磁流體環(huán)繞于所述運動軸的外圍，且位于所述運動軸與各所述環(huán)形磁極之間，所述磁流體與所述運動軸的外壁及所述環(huán)形磁極的內(nèi)壁相接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述環(huán)形永磁體的內(nèi)壁與所述運動軸的外壁具有間距。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：所述磁流體密封裝置的數(shù)量為多個，多個所述磁流體密封裝置沿所述運動軸的長度方向排布。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于：相鄰所述磁流體密封裝置的間距與所述磁流體密封裝置中兩所述環(huán)形磁極之間的間距相同。
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