[實用新型]放電激勵式氣體激光裝置

有效

• 申請號: 201721638011.8
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207542556U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 伊藤貴志;藤卷洋介;田中誠;對馬弘朗
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/038
• 分類號: H01S3/038;H01S3/03
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 陶海萍;田勇

1.一種放電激勵式氣體激光裝置，包括：

激光腔室，其具有由導電性的保持部件所保持的放電電極；

第一部件，其沿著所述放電電極的長度方向與所述放電電極并列地設置；其中在所述第一部件的表面上形成有通往內部的第一孔；

第二部件，其配置在所述第一部件上，在所述第二部件的表面上形成有凹部和第二孔；所述第二孔從所述凹部的底面貫通所述第二部件，并且與所述第一孔連通；以及

螺栓，其配置于所述第一孔和所述第二孔處，將所述第二部件固定到所述第一部件上；

其特征在于，所述第二部件具有與所述放電電極對置的電極側面以及與所述電極側面分離且與所述激光腔室對置的腔室側面，所述凹部的一部分形成在所述腔室側面上。

2.根據權利要求1所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，所述凹部的大小被設置為能夠容納所述螺栓的頭部。

3.根據權利要求1所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，放電激勵式氣體激光裝置還包括：

配線，其一端通過所述保持部件與所述放電電極電連接，另一端與所述激光腔室的內壁電連接。

4.根據權利要求3所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，在所述電極側面處形成有缺口部。

5.根據權利要求4所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，所述配線通過所述缺口部并且與所述保持部件連接。

6.根據權利要求4所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，所述缺口部沿著所述放電電極的長度方向形成有多個。

7.根據權利要求1至6任一項所述的放電激勵式氣體激光裝置，其中，所述凹部沿著所述放電電極的長度方向形成有多個。