[實用新型]一種研磨硅片加工用夾具

有效

• 申請號: 201721637996.2
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207746885U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 胡林寶
• 申請（專利權）人: 浙江游星電子科技有限公司
• 主分類號: B24B37/27
• 分類號: B24B37/27;B24B37/34;F21V33/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種研磨硅片加工用夾具，包括連接塊(1)、螺紋孔(2)、電動機(3)、轉軸(4)、主動斜齒齒輪(5)、固定塊(6)、轉盤(7)、殼體(8)、傳動軸(9)、從動斜齒齒輪(10)、直行氣缸(14)、安裝槽(15)、安裝板(16)、旋轉氣缸(17)和動夾板(18)，其特征在于，所述殼體(8)為中空結構，且殼體(8)相背的兩個面均固定連接有連接塊(1)，每個連接塊(1)均開設有螺紋孔(2)，所述殼體(8)的內側壁固定連接有電動機(3)，電動機(3)的輸出端通過聯軸器連接轉軸(4)的一端，轉軸(4)的另一端固定連接主動斜齒齒輪(5)的一側轉動中心，且殼體(8)的內底壁轉動連接傳動軸(9)的一端，傳動軸(9)的外表面套接有從動斜齒齒輪(10)，且主動斜齒齒輪(5)和從動斜齒齒輪(10)嚙合連接，所述傳動軸(9)的另一端固定連接轉盤(7)的一側轉動中心，轉盤(7)與傳動軸(9)相背的面固定連接有多個夾持裝置，夾持裝置由固定塊(6)、直行氣缸(14)、安裝槽(15)、安裝板(16)、旋轉氣缸(17)和動夾板(18)組成，所述轉盤(7)與傳動軸(9)相背的面固定連接有多個固定塊(6)，固定塊(6)圍繞轉盤(7)的中心圓周排列，且每個固定塊(6)均開設有安裝槽(15)，安裝槽(15)內固定連接有直行氣缸(14)，直行氣缸(14)的輸出端延伸到安裝槽(15)外部且固定連接有安裝板(16)，安裝板(16)與直行氣缸(14)相背的面固定連接有旋轉氣缸(17)，且旋轉氣缸(17)的輸出端固定連接有動夾板(18)。

2.根據權利要求1所述的一種研磨硅片加工用夾具，其特征在于，所述殼體(8)的側面滑動連接有檢修門(12)，檢修門(12)的外表面固定連接有把手(11)。

3.根據權利要求2所述的一種研磨硅片加工用夾具，其特征在于，所述檢修門(12)的下表面滑動連接有與檢修門(12)相匹配的滑軌(13)，且滑軌(13)與殼體(8)的外側壁固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種研磨硅片加工用夾具，其特征在于，所述動夾板(18)與固定塊(6)相對的面通過鎖緊螺釘固定連接有摩擦墊。

5.根據權利要求1所述的一種研磨硅片加工用夾具，其特征在于，所述殼體(8)的內側壁安裝有照明裝置。