[實(shí)用新型]一種研磨硅片加工用夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721637996.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN207746885U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡林寶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江游星電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/27
• 分類號(hào): B24B37/27;B24B37/34;F21V33/00
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實(shí)用新型公開了一種研磨硅片加工用夾具，包括連接塊、螺紋孔、電動(dòng)機(jī)、轉(zhuǎn)軸、主動(dòng)斜齒齒輪、固定塊、轉(zhuǎn)盤、殼體、傳動(dòng)軸、從動(dòng)斜齒齒輪、直行氣缸、安裝槽、安裝板、旋轉(zhuǎn)氣缸和動(dòng)夾板。本產(chǎn)品帶有旋轉(zhuǎn)氣缸，通過(guò)旋轉(zhuǎn)氣缸工作，可以改變動(dòng)夾板的角度，從而本產(chǎn)品可以?shī)A持不同形狀的硅片，從而裝置的適用范圍更廣，使用局限性較低；本產(chǎn)品帶有多個(gè)夾持裝置，從而一次可以?shī)A持多個(gè)需要研磨的硅片，從而提高硅片的研磨效率，且通過(guò)電動(dòng)機(jī)工作，可以帶動(dòng)夾持裝置陸續(xù)進(jìn)入到工位，從而整個(gè)送料過(guò)程自動(dòng)化進(jìn)行，從而進(jìn)一步提高硅片的研磨效率，且送料過(guò)程不需要人工操作，從而減小操作人員的工作量，降低操作人員的工作強(qiáng)度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種夾具，具體是一種研磨硅片加工用夾具。

背景技術(shù)

硅材料的制備包括切割、磨片、拋光等，其中切片后硅片撒很會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則的形狀，為了不影響后續(xù)加工的質(zhì)量，需要對(duì)硅片進(jìn)行研磨，從而加幾個(gè)不規(guī)則去除。硅片在研磨時(shí)，需要用夾具對(duì)硅片進(jìn)行固定，現(xiàn)有的研磨硅片加工用夾具只能夾持固定形狀的硅片，從而裝置的使用局限性較大，使用范圍較小，且現(xiàn)有的研磨硅片加工用夾具一次只能夾持一個(gè)需要研磨的硅片，從而硅片的研磨效率較低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種研磨硅片加工用夾具，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種研磨硅片加工用夾具，包括連接塊、螺紋孔、電動(dòng)機(jī)、轉(zhuǎn)軸、主動(dòng)斜齒齒輪、固定塊、轉(zhuǎn)盤、殼體、傳動(dòng)軸、從動(dòng)斜齒齒輪、直行氣缸、安裝槽、安裝板、旋轉(zhuǎn)氣缸和動(dòng)夾板，其特征在于，所述殼體為中空結(jié)構(gòu)，且殼體相背的兩個(gè)面均固定連接有連接塊，每個(gè)連接塊均開設(shè)有螺紋孔，所述殼體的內(nèi)側(cè)壁固定連接有電動(dòng)機(jī)，電動(dòng)機(jī)的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器連接轉(zhuǎn)軸的一端，轉(zhuǎn)軸的另一端固定連接主動(dòng)斜齒齒輪的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)中心，且殼體的內(nèi)底壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接傳動(dòng)軸的一端，傳動(dòng)軸的外表面套接有從動(dòng)斜齒齒輪，且主動(dòng)斜齒齒輪和從動(dòng)斜齒齒輪嚙合連接，所述傳動(dòng)軸的另一端固定連接轉(zhuǎn)盤的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)中心，轉(zhuǎn)盤與傳動(dòng)軸相背的面固定連接有多個(gè)夾持裝置，夾持裝置由固定塊、直行氣缸、安裝槽、安裝板、旋轉(zhuǎn)氣缸和動(dòng)夾板組成，所述轉(zhuǎn)盤與傳動(dòng)軸相背的面固定連接有多個(gè)固定塊，固定塊圍繞轉(zhuǎn)盤的中心圓周排列，且每個(gè)固定塊均開設(shè)有安裝槽，安裝槽內(nèi)固定連接有直行氣缸，直行氣缸的輸出端延伸到安裝槽外部且固定連接有安裝板，安裝板與直行氣缸相背的面固定連接有旋轉(zhuǎn)氣缸，且旋轉(zhuǎn)氣缸的輸出端固定連接有動(dòng)夾板。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述殼體的側(cè)面滑動(dòng)連接有檢修門，檢修門的外表面固定連接有把手。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述檢修門的下表面滑動(dòng)連接有與檢修門相匹配的滑軌，且滑軌與殼體的外側(cè)壁固定連接。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述動(dòng)夾板與固定塊相對(duì)的面通過(guò)鎖緊螺釘固定連接有摩擦墊。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述殼體的內(nèi)側(cè)壁安裝有照明裝置。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本產(chǎn)品帶有旋轉(zhuǎn)氣缸，通過(guò)旋轉(zhuǎn)氣缸工作，可以改變動(dòng)夾板的角度，從而本產(chǎn)品可以?shī)A持不同形狀的硅片，從而裝置的適用范圍更廣，使用局限性較低；本產(chǎn)品帶有多個(gè)夾持裝置，從而一次可以?shī)A持多個(gè)需要研磨的硅片，從而提高硅片的研磨效率，且通過(guò)電動(dòng)機(jī)工作，可以帶動(dòng)夾持裝置陸續(xù)進(jìn)入到工位，從而整個(gè)送料過(guò)程自動(dòng)化進(jìn)行，從而進(jìn)一步提高硅片的研磨效率，且送料過(guò)程不需要人工操作，從而減小操作人員的工作量，降低操作人員的工作強(qiáng)度；本產(chǎn)品帶有檢修門，且殼體內(nèi)設(shè)有照明裝置，從而方便裝置的檢修，且降低檢修人員的工作難度，從而提高檢修人員的工作效率。

附圖說(shuō)明

圖1為一種研磨硅片加工用夾具的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為一種研磨硅片加工用夾具的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為一種研磨硅片加工用夾具中夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。