[實用新型]一種研磨硅片用清洗設備

有效

• 申請號: 201721637191.8
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207746882U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 胡林寶
• 申請（專利權）人: 浙江游星電子科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/34;B08B3/02;C02F1/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型公開了一種研磨硅片用清洗設備，包括減震墊、第一增壓泵、擋水板和第二增壓泵，通過設置減震墊用于對硅片在研磨過程中產生的震動進行吸收，避免震動過大影響硅片研磨的效果，同時進一步增加了第一推板和第二推板與硅片之間的摩擦力，從而提高了硅片固定的效果，利用第一增壓泵使儲水箱內的水通過第一導水管后從清洗噴頭噴出對研磨過程中的硅片進行清洗，避免研磨過程中產生的膠水等附著在硅片上，保證了硅片研磨的效果，通過設置擋水板用于防止落在底座頂部的廢水流向四處對環境造成污染，利用第二增壓泵使廢水收集槽內過濾后的水通過第二導水管進入儲水箱內，實現了水資源的循環利用，降低了清洗的成本。

技術領域

本實用新型涉及一種清洗設備，具體是一種研磨硅片用清洗設備。

背景技術

在米粒大的硅片上，已能集成16萬個晶體管，這是科學技術進步的又一個里程碑。地殼中含量達25.8％的硅元素，為單晶硅的生產提供了取之不盡的源泉。由于硅元素是地殼中儲量最豐富的元素之一，對太陽能電池這樣注定要進入大規模市場(mass market)的產品而言，儲量的優勢也是硅成為光伏主要材料的原因之一；

在硅片加工過程中，將硅棒加工成硅片后，硅片上會產生不規則的形狀，為了不影響后續加工的質量，要將該不規則邊進行研磨去除，傳統的去除不規則邊的工序是：將硅片用膠粘合在一起，再將不規則邊研磨掉，硅片在研磨的過程中會由于設備的震動會發生一定的移動，從而影響骨片研磨的效果，同時在對硅片進行研磨的過程中會產生膠水等雜質附著在硅片上，對硅片研磨的效果造成了不利影響，所以在對硅片進行研磨時需要對硅片進行清洗，現有的研磨硅片用清洗設備移動不方便，同時現有的研磨硅片用清洗設備無法對硅片清洗產生的廢水進行收集，對環境造成污染的同時造成了水資源的浪費，清洗成本高。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種研磨硅片用清洗設備，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種研磨硅片用清洗設備，包括第一轉軸、第一推板、清洗噴頭、第一導水管、儲水箱、安裝板、第一支撐板、電機、滑塊、第二轉軸、滑軌、第二推板、廢水收集槽、底座、擋水板、轉動槽和第二支撐板，所述底座頂部固定安裝有第二支撐板，底座頂部固定設置有滑軌，滑軌上滑動設置有滑塊，所述滑塊頂部固定安裝有第一支撐板，所述第二支撐板內側上開設有一個轉動槽，所述轉動槽上通過軸承轉動安裝有第一轉軸的一端，第一轉軸的另一端固定安裝有第一推板，所述底座上方位于第一推板一側的位置設置有第二推板，所述第二推板固定安裝在第二轉軸的一端，第二轉軸的另一端通過聯軸器與電機的輸出軸連接，電機通過螺栓固定安裝在第一支撐板外側，所述滑塊上開設有用于與螺栓螺紋連接的螺紋通孔，所述第一支撐板頂部固定安裝有安裝板，所述安裝板頂部設置有儲水箱，第二推板上方設置有清洗噴頭，清洗噴頭的輸入端通過第一導水管與儲水箱的出水口連接，第一導水管上安裝有第一增壓泵，所述底座頂部四周固定安裝有擋水板，所述底座底部固定安裝有廢水收集槽，底座上對應廢水收集槽的位置上開設有多個通孔，廢水收集槽的出水口通過第二導水管與儲水箱的進水口連接，第二導水管上安裝有第二增壓泵。

作為本實用新型進一步的方案：所述底座頂部位于滑軌兩端的位置上分別固定安裝有一個限位塊。

作為本實用新型再進一步的方案：所述第一推板和第二推板與硅片貼合的一側上分別固定設置有一個減震墊，所述減震墊為橡膠材質。

作為本實用新型再進一步的方案：所述底座底部對稱安裝有支撐腿，支撐腿底部固定安裝有萬向輪。

作為本實用新型再進一步的方案：所述廢水收集槽內部上方設置有過濾層。