[實用新型]一種研磨硅片用清洗設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721637191.8
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN207746882U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設計）人: 胡林寶
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江游星電子科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/34;B08B3/02;C02F1/00
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種研磨硅片用清洗設備，包括第一轉(zhuǎn)軸(1)、第一推板(2)、清洗噴頭(3)、第一導水管(5)、儲水箱(7)、安裝板(8)、第一支撐板(9)、電機(10)、滑塊(11)、第二轉(zhuǎn)軸(12)、滑軌(13)、第二推板(14)、廢水收集槽(19)、底座(20)、擋水板(21)、轉(zhuǎn)動槽(22)和第二支撐板(23)，其特征在于，所述底座(20)頂部固定安裝有第二支撐板(23)，底座(20)頂部固定設置有滑軌(13)，滑軌(13)上滑動設置有滑塊(11)，所述滑塊(11)頂部固定安裝有第一支撐板(9)，所述第二支撐板(23)內(nèi)側(cè)上開設有一個轉(zhuǎn)動槽(22)，所述轉(zhuǎn)動槽(22)上通過軸承轉(zhuǎn)動安裝有第一轉(zhuǎn)軸(1)的一端，第一轉(zhuǎn)軸(1)的另一端固定安裝有第一推板(2)，所述底座(20)上方位于第一推板(2)一側(cè)的位置設置有第二推板(14)，所述第二推板(14)固定安裝在第二轉(zhuǎn)軸(12)的一端，第二轉(zhuǎn)軸(12)的另一端通過聯(lián)軸器與電機(10)的輸出軸連接，電機(10)通過螺栓固定安裝在第一支撐板(9)外側(cè)，所述滑塊(11)上開設有用于與螺栓螺紋連接的螺紋通孔，所述第一支撐板(9)頂部固定安裝有安裝板(8)，所述安裝板(8)頂部設置有儲水箱(7)，第二推板(14)上方設置有清洗噴頭(3)，清洗噴頭(3)的輸入端通過第一導水管(5)與儲水箱(7)的出水口連接，第一導水管(5)上安裝有第一增壓泵(6)，所述底座(20)頂部四周固定安裝有擋水板(21)，所述底座(20)底部固定安裝有廢水收集槽(19)，底座(20)上對應廢水收集槽(19)的位置上開設有多個通孔(16)，廢水收集槽(19)的出水口通過第二導水管(26)與儲水箱(7)的進水口連接，第二導水管(26)上安裝有第二增壓泵(25)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨硅片用清洗設備，其特征在于，所述底座(20)頂部位于滑軌(13)兩端的位置上分別固定安裝有一個限位塊(15)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨硅片用清洗設備，其特征在于，所述第一推板(2)和第二推板(14)與硅片貼合的一側(cè)上分別固定設置有一個減震墊(4)，所述減震墊(4)為橡膠材質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種研磨硅片用清洗設備，其特征在于，所述底座(20)底部對稱安裝有支撐腿(18)，支撐腿(18)底部固定安裝有萬向輪(17)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨硅片用清洗設備，其特征在于，所述廢水收集槽(19)內(nèi)部上方設置有過濾層(24)。