[實用新型]一種法蘭裝置

有效

• 申請號: 201721636390.7
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN207569190U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 李炳坤;張曉軍
• 申請（專利權）人: 深圳市矩陣多元科技有限公司
• 主分類號: F16J15/10
• 分類號: F16J15/10
• 代理公司: 深圳市華優知識產權代理事務所(普通合伙) 44319
• 代理人: 余薇

本實用新型公開了一種法蘭裝置，包括真空腔體、第一真空法蘭、基片、加熱器、第二真空法蘭、滑塊、以及導軌，其特征在于：所述第一真空法蘭上帶有橡膠圈；所述基片固定在所述加熱器上，所述加熱器與所述第二真空法蘭安裝在一起；以及所述滑塊放置在所述導軌上，所述第二真空法蘭安裝在所述滑塊上并隨著所述滑塊在所述導軌上滑動。該法蘭裝置夠便捷更換基片，減少人力成本和基片成本，并且減少漏氣風險。

技術領域

本實用新型涉及法蘭裝置領域，尤其涉及一種能夠便捷更換基片的法蘭裝置。

背景技術

圖1是現有技術中的法蘭裝置100的結構示意圖。如圖1所示，法蘭裝置100包括觀察窗法蘭101、真空腔體102、標準CF真空法蘭103、基片104、加熱器105、以及CF真空法蘭106。基片104固定在加熱器105上，而加熱器105是跟CF真空法蘭106安裝在一起，CF真空法蘭106通過螺釘固定在標準CF真空法蘭103上，標準CF真空法蘭103焊接在真空腔體102上。

當需要更換基片104的時候，通常采用兩種方式：

第一種，可將CF真空法蘭106從標準CF真空法蘭103上拆下來，整體抽出加熱器105來更換基片104。其缺點在于：每次更換基片都需要把CF真空法蘭106拆下來和裝回去，工作量很大，而且加熱器105和CF真空法蘭106往往也比較重，一般都需要兩個人才能完成。兩個法蘭間采用的是銅墊圈密封，銅墊圈使用過一次后就需要換新的，造成成本增加，每拆裝一次都會存在漏氣的風險。

第二種：打開真空腔體102前面的觀察窗法蘭101，把手伸進去進行操作。其缺點在于：由于觀察窗法蘭101通常都不大，往往只能伸進去一只手，造成操作極其不方便。

因此，如何更方便快捷地更換法蘭裝置中的基片，成為亟需解決的問題。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供一種能夠便捷更換基片的法蘭裝置。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：

一種法蘭裝置，包括真空腔體、第一真空法蘭、基片、加熱器、第二真空法蘭、滑塊、以及導軌，其特征在于：所述第一真空法蘭上帶有橡膠圈；所述基片固定在所述加熱器上，所述加熱器與所述第二真空法蘭安裝在一起；以及所述滑塊放置在所述導軌上，所述第二真空法蘭安裝在所述滑塊上并隨著所述滑塊在所述導軌上滑動。

優選地，所述第一真空法蘭上帶有O型橡膠圈。

優選地，所述第一真空法蘭利用固定螺釘安裝在所述真空腔體上。

優選地，所述第二真空法蘭和所述第一真空法蘭利用三個固定螺釘安裝在一起。

優選地，所述法蘭裝置還包括觀察窗法蘭。

優選地，所述第一真空法蘭是CF真空法蘭。

優選地，所述第二真空法蘭是CF真空法蘭。

優選地，所述法蘭裝置還包括與所述滑塊連接的驅動機構。

根據本實用新型的至少包括以下優點：

1.操作更方便、快捷。把基片抽出來后，空間更大，雙手操作更靈活，時間也大大縮短。

2.人力成本較少。相比以前，最少得需要兩個人才能完成操作，現在一個人就可以完成操作。

3.勞動量減少。相比以前密封都是用銅墊圈，裝銅墊圈的時候需要裝一圈的螺釘，以CF250法蘭為例，它需要裝32個螺釘，而現在只需要裝3個螺釘即可，勞動量大大較少。

4.成本較少。相比以前每換一次基片都需要更換一個銅墊圈，以CF250法蘭的銅墊圈為例，每個需要大約200元左右。而目前O型圈是可以重復利用。