[實用新型]一種法蘭裝置有效
| 申請號： | 201721636390.7 | 申請日： | 2017-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN207569190U | 公開（公告）日： | 2018-07-03 |
| 發明（設計）人： | 李炳坤;張曉軍 | 申請（專利權）人： | 深圳市矩陣多元科技有限公司 |
| 主分類號： | F16J15/10 | 分類號： | F16J15/10 |
| 代理公司： | 深圳市華優知識產權代理事務所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區西*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空法蘭 滑塊 加熱器 法蘭裝置 導軌 本實用新型 人力成本 真空腔體 橡膠圈 滑動 漏氣 | ||
【權利要求書】：
1.一種法蘭裝置，包括真空腔體、第一真空法蘭、基片、加熱器、第二真空法蘭、滑塊、以及導軌，其特征在于：
所述第一真空法蘭上帶有橡膠圈；
所述基片固定在所述加熱器上，所述加熱器與所述第二真空法蘭安裝在一起；以及
所述滑塊放置在所述導軌上，所述第二真空法蘭安裝在所述滑塊上并隨著所述滑塊在所述導軌上滑動。
2.如權利要求1所述的法蘭裝置，其特征在于，所述第一真空法蘭上帶有O型橡膠圈。
3.如權利要求1所述的法蘭裝置，其特征在于，所述第一真空法蘭利用螺釘安裝在所述真空腔體上。
4.如權利要求1所述的法蘭裝置，其特征在于，所述第二真空法蘭利用三個固定螺釘安裝在所述第一真空法蘭上。
5.如權利要求1所述的法蘭裝置，其特征在于，所述法蘭裝置還包括觀察窗法蘭。
6.如權利要求1所述的法蘭裝置，其特征在于，所述第一真空法蘭是CF真空法蘭。
7.如權利要求1所述的法蘭裝置，其特征在于，所述第二真空法蘭是CF真空法蘭。
8.如權利要求1所述的法蘭裝置，其特征在于，所述法蘭裝置還包括與所述滑塊連接的驅動機構。
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