[實用新型]一種真空室窗口的保護裝置

有效

• 申請號: 201721629781.6
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN208055452U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 李炳坤;張曉軍
• 申請（專利權）人: 深圳市矩陣多元科技有限公司
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28
• 代理公司: 深圳市華優知識產權代理事務所(普通合伙) 44319
• 代理人: 余薇

本實用新型公開了一種真空室窗口的保護裝置，包括柔性透視膜、用以裝載柔性透視膜的裝載滾軸、裝載滾軸固定座、用以回收柔性透視膜的回收滾軸、回收滾軸固定座及轉軸；其中，裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座相對的固定設置于一真空室窗口的邊緣，裝載滾軸和回收滾軸分別設置于裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座上，且平行設置；柔性透視膜一端固定于回收滾軸上，轉軸連接回收滾軸，以控制回收滾軸旋轉。通過本實用新型，能夠阻止靶材金屬沉積于真空室窗口的石英玻璃內表面，讓每次照射到靶材表面的激光能量保持一致性，提高PLD鍍膜的一致性、可重復性。

技術領域

本實用新型涉及真空作業領域，特別是涉及一種真空室窗口的保護裝置。

背景技術

目前脈沖激光濺射沉積技術中，激光需要先透過真空石英窗口再轟擊到設置于真空室內的靶材上，轟擊出來的靶材原子會沿各個方向運動，所以真空石英窗口內側表面也會附上一層靶材材料。時間長了之后，激光透過真空石英窗口的能力就會衰弱。為保證真空石英窗口的激光透射能力，需要定期把真空石英窗口從真空室上拆下來，對石英玻璃內表面進行研磨，去除沉積的靶材金屬。

但是石英玻璃研磨需要專業人員進行，對于普通使用者來說，一旦處理不好就會影響激光穿過石英玻璃的透過率。熱熔式石英玻璃價格比較昂貴，一旦受損就必須換新。而且真空石英窗口安裝于真空室時，是與管路法蘭固定連接的，通常都是采用CF法蘭刀口密封，拆裝都比較麻煩，而且容易造成泄露。目前的石英窗口由于經常被污染且不能更新，而影響鍍膜時透過激光的能量，從而使得PLD鍍膜的一致性、重復性不好。

實用新型內容

本實用新型主為解決現有問題的不足之處而提供一種真空室窗口的保護裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是：提供一種真空室窗口的保護裝置，包括：柔性透視膜、用以裝載柔性透視膜的裝載滾軸、裝載滾軸固定座、用以回收柔性透視膜的回收滾軸、回收滾軸固定座及轉軸；其中，裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座相對的固定設置于一真空室窗口的邊緣，裝載滾軸和回收滾軸分別設置于裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座上，且平行設置；柔性透視膜一端固定于回收滾軸上，轉軸連接回收滾軸，以控制回收滾軸旋轉。

其中，轉軸為真空導入轉軸。

其中，裝載滾軸和回收滾軸相對于裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座繞軸轉動。

其中，柔性透視膜固定于裝載滾軸和回收滾軸間時，至少覆蓋所述激光入射區域。

其中，真空室窗口為真空法蘭石英窗口或其它具有光學透射率≥50％的材質制作的窗口。

區別于現有技術，本實用新型的真空室窗口的保護裝置包括柔性透視膜、用以裝載柔性透視膜的裝載滾軸、裝載滾軸固定座、用以回收柔性透視膜的回收滾軸、回收滾軸固定座及轉軸；其中，裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座相對的固定設置于一真空室窗口的邊緣，裝載滾軸和回收滾軸分別設置于裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座上，且平行設置；柔性透視膜一端固定于回收滾軸上，轉軸連接回收滾軸，以控制回收滾軸旋轉。通過本實用新型，能夠阻止靶材金屬沉積于真空室窗口的石英玻璃內表面，讓每次照射到靶材表面的激光能量保持一致性，提高PLD鍍膜的一致性、可重復性。

附圖說明

圖1是本實用新型提供的一種真空室窗口的保護裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體實施方式對本實用新型的技術方案作進一步更詳細的描述。顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都應屬于本實用新型保護的范圍。