[實(shí)用新型]一種真空室窗口的保護(hù)裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721629781.6 | 申請(qǐng)日： | 2017-11-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208055452U | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李炳坤;張曉軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳市矩陣多元科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/28 | 分類號(hào)： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 深圳市華優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區(qū)西*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 滾軸 回收 固定座 裝載 透視膜 真空室 保護(hù)裝置 本實(shí)用新型 靶材表面 固定設(shè)置 激光能量 金屬沉積 可重復(fù)性 平行設(shè)置 石英玻璃 轉(zhuǎn)軸連接 內(nèi)表面 靶材 鍍膜 轉(zhuǎn)軸 照射 | ||
1.一種真空室窗口的保護(hù)裝置，其特征在于，包括：柔性透視膜、用以裝載所述柔性透視膜的裝載滾軸、裝載滾軸固定座、用以回收所述柔性透視膜的回收滾軸、回收滾軸固定座及轉(zhuǎn)軸；
其中，所述裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座相對(duì)的固定設(shè)置于一真空室窗口的邊緣，所述裝載滾軸和回收滾軸分別設(shè)置于所述裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座上，且平行設(shè)置；所述柔性透視膜一端固定于所述回收滾軸上，所述轉(zhuǎn)軸連接所述回收滾軸，以控制所述回收滾軸旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空室窗口的保護(hù)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸為真空導(dǎo)入轉(zhuǎn)軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空室窗口的保護(hù)裝置，其特征在于，所述裝載滾軸和回收滾軸相對(duì)于所述裝載滾軸固定座和回收滾軸固定座繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空室窗口的保護(hù)裝置，其特征在于，所述柔性透視膜固定于所述裝載滾軸和所述回收滾軸間時(shí)，至少覆蓋激光入射區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空室窗口的保護(hù)裝置，其特征在于，所述真空室窗口為真空法蘭石英窗口或其它具有光學(xué)透射率≥50％的材質(zhì)制作的窗口。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
