[實用新型]一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴有效
| 申請號: | 201721628314.1 | 申請日: | 2017-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN207537523U | 公開(公告)日: | 2018-06-26 |
| 發明(設計)人: | 鄧云升;曾興中;蔡曉義;周揚川;柯賢軍;蘇君海;李建華 | 申請(專利權)人: | 信利(惠州)智能顯示有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人: | 鄧聰權 |
| 地址: | 516029 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 坩堝噴嘴 蒸鍍源 蒸鍍 本實用新型 噴嘴設計 器件結構 均勻性 字型 摻雜 保證 | ||
【權利要求書】:
1.一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴,其特征在于,所述噴嘴設計為扁平“8”字型。
2.如權利要求1所述的一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴,其特征在于,摻雜材料的蒸鍍源坩堝噴嘴采用所述扁平“8”字型。
3.如權利要求2所述的一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴,其特征在于,同種主體材料的蒸鍍源坩堝噴嘴采用圓形。
4.如權利要求3所述的一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴,其特征在于,線性蒸發源由三個蒸鍍源組成,兩邊同種主體材料的蒸鍍源的坩堝噴嘴采用圓形,中間摻雜材料的蒸鍍源坩堝噴嘴采用所述扁平“8”字型。
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