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[實用新型]一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴有效

專利信息
申請號: 201721628314.1 申請日: 2017-11-29
公開(公告)號: CN207537523U 公開(公告)日: 2018-06-26
發明(設計)人: 鄧云升;曾興中;蔡曉義;周揚川;柯賢軍;蘇君海;李建華 申請(專利權)人: 信利(惠州)智能顯示有限公司
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24
代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 代理人: 鄧聰權
地址: 516029 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 坩堝噴嘴 蒸鍍源 蒸鍍 本實用新型 噴嘴設計 器件結構 均勻性 字型 摻雜 保證
【權利要求書】:

1.一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴,其特征在于,所述噴嘴設計為扁平“8”字型。

2.如權利要求1所述的一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴,其特征在于,摻雜材料的蒸鍍源坩堝噴嘴采用所述扁平“8”字型。

3.如權利要求2所述的一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴,其特征在于,同種主體材料的蒸鍍源坩堝噴嘴采用圓形。

4.如權利要求3所述的一種線性蒸鍍源坩堝噴嘴,其特征在于,線性蒸發源由三個蒸鍍源組成,兩邊同種主體材料的蒸鍍源的坩堝噴嘴采用圓形,中間摻雜材料的蒸鍍源坩堝噴嘴采用所述扁平“8”字型。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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