[實用新型]基于微機電探針的垂直式探針卡

有效

• 申請號: 201721625819.2
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN207457425U
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 劉明星
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/067
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

1.一種基于微機電探針的垂直式探針卡，其特征在于：包括探針頭(1)和設置在所述探針頭(1)頂部的補強板(2)，所述探針頭(1)包括上導板(3)和下導板(4)，所述上導板(3)和下導板(4)之間設有空間調節器(5)，所述空間調節器(5)均勻地分布在所述上導板(3)和下導板(4)兩側，所述下導板(4)的中心開設有通槽，所述通槽內設有微機電探針(6)，所述微機電探針(6)自上而下插入上下導板(4)形成探針頭(1)，所述探針頭(1)與所述補強板(2)之間設有探針頭(1)安裝基座(7)，所述探針頭(1)安裝基座(7)連接封裝基板(8)，所述封裝基板(8)連接PCB板(9)，所述PCB板(9)連接所述補強板(2)。

2.根據權利要求1所述的一種基于微機電探針的垂直式探針卡，其特征在于：所述封裝基板(8)的頂部設置有若干錫塊，所述封裝基板(8)通過若干所述錫塊與所述PCB板(9)焊接。

3.根據權利要求1所述的一種基于微機電探針的垂直式探針卡，其特征在于：所述PCB板(9)包括上下并列設置的上板體和下板體，所述上板體的直徑大于所述下板體的直徑，所述下板體的側面等距設置有多個凹槽，所述凹槽水平設置，所述凹槽內設有彈片。

4.根據權利要求1所述的一種基于微機電探針的垂直式探針卡，其特征在于：所述封裝基板(8)包括依次連接的第一線路層、介電層和第二線路層，所述封裝基板(8)上設有若干通孔，所述若干通孔貫穿所述第一線路層、介電層和第二線路層，所述若干通孔的底面與所述第二線路層的下表面在同一平面上。

5.根據權利要求3所述的一種基于微機電探針的垂直式探針卡，其特征在于：所述上板體為圓盤形狀，所述下板體為圓柱形狀，且上板體與下板體一體成型。

6.根據權利要求1所述的一種基于微機電探針的垂直式探針卡，其特征在于：所述微機電探針(6)通過所述下導板(4)延伸出所述探針頭(1)的底部。