[實用新型]一種過真空腔室的測溫結構

有效

• 申請號: 201721625254.8
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN207585793U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 胡慶為
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: G01K7/16
• 分類號: G01K7/16
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;姜溯洲

1.一種過真空腔室的測溫結構，其特征在于，包括測溫部件(1)、旋轉部件(5)、設于真空腔室內的旋轉盤(2)以及設于所述真空腔室外的驅動裝置(3)，所述驅動裝置(3)與所述旋轉部件(5)連接，并驅動所述旋轉部件(5)轉動，所述旋轉部件(5)延伸至所述真空腔室內與所述旋轉盤(2)連接，所述測溫部件(1)貫穿所述旋轉部件(5)，并與所述旋轉盤(2)上的待測件(6)連接。

2.根據權利要求1所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述驅動裝置包括電機和傳動機構(4)，所述電機驅動所述傳動機構(4)帶動所述旋轉部件(5)轉動，所述傳動機構(4)包括主動帶輪(7)、從動帶輪(8)和皮帶(9)，所述皮帶(9)套設在所述主動帶輪(7)和所述從動帶輪(8)上，所述從動帶輪(8)與所述旋轉部件(5)連接。

3.根據權利要求1所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述旋轉部件(5)的中心設有通道，所述測溫部件(1)容置在所述通道中，所述測溫部件(1)的外徑小于所述通道的內徑，所述測溫部件(1)與所述通道之間密封連接。

4.根據權利要求1至3任一項所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述旋轉部件(5)為中空圓筒結構的磁流體，所述磁流體與所述真空腔體的壁面密封連接。

5.根據權利要求4所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述旋轉盤(2)與所述磁流體連接，且所述磁流體可以帶動所述旋轉盤(2)和所述測溫部件(1)以設定的速度作同步圓周運動。

6.根據權利要求1所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述測溫結構還包括溫控裝置，所述測溫部件(1)遠離所述真空腔室的一側與所述溫控裝置連接，并反饋實時溫度信號。

7.根據權利要求6所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述旋轉部件(5)在所述真空腔室外側的一端與基座(11)連接，所述基座(11)由絕緣材質制成，且所述基座(11)上設置有導電部件(13)，所述測溫部件(1)的第一引出線與所述導電部件(13)電連接。

8.根據權利要求7所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述測溫結構還包括碳刷座(14)，所述碳刷座(14)上的碳刷(15)端部與所述導電部件(13)外側抵接，所述碳刷(15)遠離所述導電部件(13)的一端設有的第二引出線，所述第二引出線穿過所述碳刷座(14)與所述溫控裝置連接。

9.根據權利要求8所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述碳刷座(14)上設有凹槽，所述凹槽由內向外依次布置彈簧和所述碳刷(15)，所述彈簧處于壓縮狀態，使所述碳刷(15)與所述導電部件(13)外側緊密接觸。

10.根據權利要求8所述的過真空腔室的測溫結構，其特征在于，所述導電部件(13)內側引出第一接線柱(12)，所述第一引出線固定于所述第一接線柱(12)上；所述碳刷座(14)上遠離所述碳刷(15)的一端設有第二接線柱(16)，所述第二引出線固定于所述第二接線柱(16)上；且所述第一接線柱(12)和所述第二接線柱(16)上分別套有絕緣套。