[實用新型]一種過真空腔室的測溫結構

有效

• 申請號: 201721625254.8
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN207585793U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 胡慶為
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: G01K7/16
• 分類號: G01K7/16
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;姜溯洲

本實用新型公開了一種過真空腔室的測溫結構，包括測溫部件、旋轉部件、設于真空腔室內的旋轉盤以及設于所述真空腔室外的驅動裝置，所述驅動裝置與所述旋轉部件連接，并驅動所述旋轉部件轉動，所述旋轉部件延伸至所述真空腔室內與所述旋轉盤連接，所述測溫部件貫穿所述旋轉部件，并與所述旋轉盤上的待測件連接；本實用新型的過真空腔室的測溫結構，通過在旋轉部件內設置測溫部件，并采用驅動裝置帶動旋轉部件與旋轉盤同步轉動，從而保證測溫部件跟隨待測件運動，防止測溫部件的接線端松動，有效提高測溫結構的整體可靠性。

技術領域

本實用新型涉及真空測溫技術領域，特別是一種過真空腔室的測溫結構。

背景技術

現有半導體領域或者太陽能領域，工藝往往要求對沉積成膜的樣片進行加熱處理，加熱器一般安裝在真空腔室內部。測溫部件作為真空腔室內樣片的測量傳感器，也需要將探頭伸入至真空腔室內部對樣片進行測量。

若將測溫部件等傳感器伸入真空腔室內部，則必須解決測溫部件自身或者引線進出腔室壁問題，即過真空腔室問題，目前常用的測溫部件進出真空腔室的方式主要有兩種：一是通過測溫部件冷端密封，即將測溫部件冷端直接安裝于真空腔室外壁上，通過O型圈進行密封；另一種是通過陶瓷封接法蘭進行密封，陶瓷封接法蘭兩側均設有接線柱，陶瓷封接法蘭與真空腔室壁之間通過銅墊圈或O型圈密封，測溫部件連同自身引線設在真空腔室內部，測溫部件接線端先與真空腔室內的接線柱連接，再通過真空腔室外的接線柱引出。

在工藝過程中，為達到更好的加熱均勻性或膜層均勻性，需要將多個樣片放置在環形圓盤上，樣片跟隨環形圓盤做圓周運動，同時被加熱或鍍膜。若想獲取旋轉樣片的實時溫度，以上兩種測溫部件進出真空腔室方式都存在弊端，因為兩種方式的測溫部件引線均固定在腔室壁上，而測溫部件探頭固定在樣片表面，測溫部件探頭跟隨被測樣片旋轉時，測溫部件引線卻仍處于靜止狀態，因而樣片旋轉多圈的可能性不大，另外無論是旋轉一定角度還是多圈，都可能會引起腔室內部的測溫部件接線端松動，降低安全系數，造成測溫系統整體可靠性下降。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種過真空腔室的測溫結構，以解決現有技術中的測溫部件自身或者引線進出真空腔室壁無法良好適用于待測件旋轉工況的技術問題，它能夠使測溫部件跟隨待測件旋轉，避免接線端松動，實現對旋轉工件溫度的動態傳輸及測量。

為了實現上述目的，本實用新型提供了如下的技術方案：

一種過真空腔室的測溫結構，包括測溫部件、旋轉部件、設于真空腔室內的旋轉盤以及設于所述真空腔室外的驅動裝置，所述驅動裝置與所述旋轉部件連接，并驅動所述旋轉部件轉動，所述旋轉部件延伸至所述真空腔室內與所述旋轉盤連接，所述測溫部件貫穿所述旋轉部件，并與所述旋轉盤上的待測件連接。

優選地，所述驅動裝置包括電機和傳動機構，所述電機驅動所述傳動機構帶動所述旋轉部件轉動，所述傳動機構包括主動帶輪、從動帶輪和皮帶，所述皮帶套設在所述主動帶輪和所述從動帶輪上，所述從動帶輪與所述旋轉部件連接。

優選地，所述旋轉部件的中心設有通道，所述測溫部件容置在所述通道中，所述測溫部件的外徑小于所述通道的內徑，所述測溫部件與所述通道之間密封連接。

優選地，所述旋轉部件為中空圓筒結構的磁流體，所述磁流體與所述真空腔體的壁面密封連接。

優選地，所述旋轉盤與所述磁流體連接，且所述磁流體可以帶動所述旋轉盤和所述測溫部件以設定的速度作同步圓周運動。

優選地，所述測溫結構還包括溫控裝置，所述測溫部件遠離所述真空腔室的一側與所述溫控裝置連接，并反饋實時溫度信號。

優選地，所述旋轉部件在所述真空腔室外側的一端與基座連接，所述基座由絕緣材質制成，且所述基座上設置有導電部件，所述測溫部件的第一引出線與所述導電部件電連接。