[實用新型]一種噴淋保濕晶圓門裝置

有效

• 申請號: 201721624565.2
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN207637756U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 吳功;歐志榮;李壯
• 申請（專利權）人: 上海大族富創得科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海翰信知識產權代理事務所(普通合伙) 31270
• 代理人: 張維東

本實用新型揭示了一種噴淋保濕晶圓門裝置，包括底板、晶圓花籃、噴淋柱和密封門，晶圓花籃用于放置晶圓片，可放置在底板上，噴淋柱位于底板上，用于對晶圓片進行噴淋，密封門位于底板的一側，包括密封門本體和活動門，密封門本體上具有晶圓盒穿過的窗口，活動門用于打開或關閉所述窗口，通過噴淋柱對晶圓片進行噴淋，有效防止晶圓片上因研磨殘留的粉末干燥硬化，而影響晶圓片的成品率。

技術領域

本實用新型涉及一種噴淋保濕晶圓門裝置。

背景技術

在半導體或者其它相關行業，在某些工藝制程完成后(如PVD或者CVD工藝)，需要將晶圓片表面做機械研磨(比如chemical mechanical polishing工序)，控制晶圓片表面膜厚或者平整度。在做完機械研磨后，研磨設備先做表面清洗后，再將晶圓片送到下一個設備做深度清洗，由于晶圓片在傳輸過程中，晶圓片上的研磨工序殘留粉塵會干燥硬化，降低晶圓片的成品率，因此，在兩個工序之間的傳遞上下料的等待時間里，晶圓片都要保證潮濕。

實用新型內容

本實用新型提供了一種噴淋保濕晶圓門裝置，克服了現有技術的困難，開創了一種提供噴淋保濕功能外，在潮濕環境中還滿足晶圓花籃的偵測功能、批號射頻讀取功能、花籃內晶圓片狀態掃描功能的噴淋保濕晶圓門裝置。

本實用新型提供了一種噴淋保濕晶圓門裝置，包括：

底板；

晶圓花籃，所述晶圓花籃放置在底板上，用于放置晶圓片；

噴淋柱，所述噴淋柱位于所述底板上，用于對所述晶圓片進行噴淋；

密封門，所述密封門位于所述底板的一側，包括密封門本體和活動門，所述密封門本體上具有所述晶圓花籃穿過的窗口，所述活動門用于打開或關閉所述窗口。

進一步，還包括第一支撐塊和第二支撐塊，所述晶圓花籃通過所述第一支撐塊和所述第二支撐塊放置在底板上，所述第二支撐塊上設置有感應板，所述感應板包括第一板和第二板，所述第一板和所述第二板呈V型，其中，所述第一板為感應面，所述活動門上設置有用于感應所述第一板的反射傳感器。

進一步，所述反射傳感器位于所述活動門的內部，所述活動門上與所述底板相對的面上設置有玻璃塊，以便所述反射傳感器透過所述玻璃塊感應所述第一板。

進一步，所述活動門的內部還設置有掃描傳感器，所述掃描傳感器用于透過所述玻璃塊掃描所述晶圓花籃上的晶圓片狀態信息。

進一步，所述窗口上設置有雨刮器。

進一步，所述密封門包括電機、同步帶、絲杠組件和滑軌，所述電機、所述同步帶、所述絲杠組件和所述滑軌分別安裝在所述密封門內部，所述活動門分別與所述滑軌和絲杠組件連接，所述絲杠組件和所述電機通過同步帶傳動連接，以帶動所述活動門沿著所述密封門的長度方向移動。

進一步，所述密封門還包括兩個感應片和兩個限位傳感器，兩個所述限位傳感器分別位于所述滑軌的兩端，每個所述限位傳感器感應一個所述感應片，所述感應片安裝在所述活動門上。

進一步，還包括天線，所述天線安裝在所述第一支撐塊上，用于接收所述晶圓花籃的ID 信號。

進一步，還包括擋板，所述擋板呈U型，用于罩在所述底板四周，并且呈U型擋板的開口朝向所述密封門。

進一步，所述擋板為透明材料制成的擋板。

由于采用了上述技術，本實用新型具有以下優點：