[實(shí)用新型]一種噴淋保濕晶圓門裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721624565.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN207637756U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳功;歐志榮;李壯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海大族富創(chuàng)得科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海翰信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31270
• 代理人: 張維東

1.一種噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，包括：

底板；

晶圓花籃，所述晶圓花籃放置在底板上，用于放置晶圓片；

噴淋柱，所述噴淋柱位于所述底板上，用于對(duì)所述晶圓片進(jìn)行噴淋；

密封門，所述密封門位于所述底板的一側(cè)，包括密封門本體和活動(dòng)門，所述密封門本體上具有所述晶圓花籃穿過的窗口，所述活動(dòng)門用于打開或關(guān)閉所述窗口。

2.如權(quán)利要求1所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，還包括第一支撐塊和第二支撐塊，所述晶圓花籃通過所述第一支撐塊和所述第二支撐塊放置在底板上，所述第二支撐塊上設(shè)置有感應(yīng)板，所述感應(yīng)板包括第一板和第二板，所述第一板和所述第二板呈V型，其中，所述第一板為感應(yīng)面，所述活動(dòng)門上設(shè)置有用于感應(yīng)所述第一板的反射傳感器。

3.如權(quán)利要求2所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，所述反射傳感器位于所述活動(dòng)門的內(nèi)部，所述活動(dòng)門上與所述底板相對(duì)的面上設(shè)置有玻璃塊，以便所述反射傳感器透過所述玻璃塊感應(yīng)所述第一板。

4.如權(quán)利要求3所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，所述活動(dòng)門的內(nèi)部還設(shè)置有掃描傳感器，所述掃描傳感器用于透過所述玻璃塊掃描所述晶圓花籃上的晶圓片狀態(tài)信息。

5.如權(quán)利要求3所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，所述窗口上設(shè)置有雨刮器。

6.如權(quán)利要求1所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，所述密封門包括電機(jī)、同步帶、絲杠組件和滑軌，所述電機(jī)、所述同步帶、所述絲杠組件和所述滑軌分別安裝在所述密封門內(nèi)部，所述活動(dòng)門分別與所述滑軌和絲杠組件連接，所述絲杠組件和所述電機(jī)通過同步帶傳動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述活動(dòng)門沿著所述密封門的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。

7.如權(quán)利要求6所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，所述密封門還包括兩個(gè)感應(yīng)片和兩個(gè)限位傳感器，兩個(gè)所述限位傳感器分別位于所述滑軌的兩端，每個(gè)所述限位傳感器感應(yīng)一個(gè)所述感應(yīng)片，所述感應(yīng)片安裝在所述活動(dòng)門上。

8.如權(quán)利要求2所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，還包括天線，所述天線安裝在所述第一支撐塊上，用于接收所述晶圓花籃的ID信號(hào)。

9.如權(quán)利要求1所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，還包括擋板，所述擋板呈U型，用于罩在所述底板四周，并且呈U型擋板的開口朝向所述密封門。

10.如權(quán)利要求9所述的噴淋保濕晶圓門裝置，其特征在于，所述擋板為透明材料制成的擋板。