[實用新型]一種便于脫膠的硅片脫膠支架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721602243.8
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN207563355U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳忠海
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州德瑞姆超聲科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州凱謙巨邦專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32303
• 代理人: 丁劍

本實用新型公開了一種便于脫膠的硅片脫膠支架，包括框架體，框架體的內(nèi)部底端兩側(cè)均設(shè)有安裝板，安裝板的上表面設(shè)有第一液壓缸，第一液壓缸的數(shù)量為兩個且等間距設(shè)置，第一液壓缸通過第一伸縮桿連接托板，托板位于框架體的內(nèi)部，托板的上表面設(shè)有滑軌，滑軌的數(shù)量為兩條且等間距設(shè)置，滑軌的上表面滑動卡裝有滑板，托板的上表面一側(cè)設(shè)有固定板，固定板的側(cè)表面設(shè)有第二液壓缸，第二液壓缸通過第二伸縮桿與滑板連接，滑板的上表面設(shè)有卡柱，四個卡柱的內(nèi)側(cè)為放置槽，放置槽內(nèi)活動卡裝有硅片放置架。本便于脫膠的硅片脫膠支架，使用方便，能夠分隔放置硅片，而且能夠在熱水中來回移動硅片，提高了硅片脫膠的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種便于脫膠的硅片脫膠支架。

背景技術(shù)

硅片表面的清潔度是影響硅片合格率和電池轉(zhuǎn)換效率的關(guān)鍵因素。為獲得潔凈度較高的硅片，往往硅片在經(jīng)過線切割后需要脫膠清洗和精細(xì)清洗兩個部分，在硅片熱水脫膠過程中會使用到硅片脫膠支架。現(xiàn)有的硅片脫膠支架大多為框架，直接盛放硅片置于熱水中進行脫膠，使用不方便，而且脫膠緩慢、效率低。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供一種便于脫膠的硅片脫膠支架，使用便利，能夠分隔放置硅片，而且能夠在熱水中來回移動硅片，提高了硅片脫膠的效率，可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種便于脫膠的硅片脫膠支架，包括框架體，所述框架體的內(nèi)部底端兩側(cè)均設(shè)有安裝板，安裝板的上表面設(shè)有第一液壓缸，第一液壓缸的數(shù)量為兩個且等間距設(shè)置，第一液壓缸通過第一伸縮桿連接托板，托板位于框架體的內(nèi)部，托板的上表面設(shè)有滑軌，滑軌的數(shù)量為兩條且等間距設(shè)置，滑軌的上表面滑動卡裝有滑板，托板的上表面一側(cè)設(shè)有固定板，固定板的側(cè)表面設(shè)有第二液壓缸，第二液壓缸通過第二伸縮桿與滑板連接，滑板的上表面設(shè)有卡柱，卡柱的橫截面為L形，卡柱的數(shù)量為四個且等間距設(shè)置，四個卡柱的內(nèi)側(cè)為放置槽，放置槽內(nèi)活動卡裝有硅片放置架。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述框架體的上表面兩端均設(shè)有連接板，連接板的上表面設(shè)有把手。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述滑軌為T字形，滑板的下表面設(shè)有與滑軌相對應(yīng)的滑槽。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第一液壓缸和第二液壓缸進液口均與外部油路系統(tǒng)出液口連接。

作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述硅片放置架為長方體框架，硅片放置架的內(nèi)部均勻分布有隔板，相鄰的兩個隔板之間為硅片槽。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：本便于脫膠的硅片脫膠支架，使用方便，硅片放入硅片放置架內(nèi)的硅片槽，硅片分隔放置，與熱水充分接觸，通過第一液壓缸工作，第一伸縮桿帶動托板移動，進而帶動硅片移動進入熱水中，通過第二液壓缸工作，第二伸縮桿帶動滑板沿滑軌移動，進而帶動硅片放置架在熱水中往復(fù)運動，加快了硅片的脫膠效率。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型A處結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1把手、2連接板、3框架體、4托板、5滑板、6滑軌、7第一液壓缸、8第一伸縮桿、9卡柱、10硅片放置架、11固定板、12安裝板、13第二液壓缸、14第二伸縮桿、15滑槽、16放置槽、17隔板、18硅片槽。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。