[實用新型]一種便于脫膠的硅片脫膠支架

有效

• 申請號: 201721602243.8
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN207563355U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 陳忠海
• 申請（專利權）人: 蘇州德瑞姆超聲科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州凱謙巨邦專利代理事務所(普通合伙) 32303
• 代理人: 丁劍

1.一種便于脫膠的硅片脫膠支架，包括框架體(3)，其特征在于：所述框架體(3)的內部底端兩側均設有安裝板(12)，安裝板(12)的上表面設有第一液壓缸(7)，第一液壓缸(7)的數量為兩個且等間距設置，第一液壓缸(7)通過第一伸縮桿(8)連接托板(4)，托板(4)位于框架體(3)的內部，托板(4)的上表面設有滑軌(6)，滑軌(6)的數量為兩條且等間距設置，滑軌(6)的上表面滑動卡裝有滑板(5)，托板(4)的上表面一側設有固定板(11)，固定板(11)的側表面設有第二液壓缸(13)，第二液壓缸(13)通過第二伸縮桿(14)與滑板(5)連接，滑板(5)的上表面設有卡柱(9)，卡柱(9)的橫截面為L形，卡柱(9)的數量為四個且等間距設置，四個卡柱(9)的內側為放置槽(16)，放置槽(16)內活動卡裝有硅片放置架(10)。

2.根據權利要求1所述的一種便于脫膠的硅片脫膠支架，其特征在于：所述框架體(3)的上表面兩端均設有連接板(2)，連接板(2)的上表面設有把手(1)。

3.根據權利要求1所述的一種便于脫膠的硅片脫膠支架，其特征在于：所述滑軌(6)為T字形，滑板(5)的下表面設有與滑軌(6)相對應的滑槽(15)。

4.根據權利要求1所述的一種便于脫膠的硅片脫膠支架，其特征在于：所述第一液壓缸(7)和第二液壓缸(13)進液口均與外部油路系統出液口連接。

5.根據權利要求1所述的一種便于脫膠的硅片脫膠支架，其特征在于：所述硅片放置架(10)為長方體框架，硅片放置架(10)的內部均勻分布有隔板(17)，相鄰的兩個隔板(17)之間為硅片槽(18)。