[實用新型]一種集成電路無氧真空儲存箱設備

有效

• 申請號: 201721587538.2
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN207536500U
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 安小敏;劉漢東;丁道路
• 申請（專利權）人: 合肥真萍電子科技有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20;B65D85/90
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種集成電路無氧真空儲存箱設備，包括外殼（1），其特征在于：所述外殼（1）內部設有第一工作室（2）與第二工作室（3），所述第二工作室（3）設于第一工作室（2）一側，所述第一工作室（2）內部設有多個存儲內膽（4），多個所述存儲內膽（4）一側均設有密封門（5）以及另一側均設有第一連接管（6）與第二連接管（7），所述第二連接管（7）設于第一連接管（6）底部，所述第一連接管（6）與第二連接管（7）底部均設有密閉電磁閥（8），多個所述存儲內膽（4）外側均設有肋片（9）以及底部設有擱板（10），所述第一工作室（2）內側設有絕對壓力變送器（23），所述第二工作室（3）內部設有真空泵（11），所述真空泵（11）一側設有數字式電阻真空計（12），所述數字式電阻真空計（12）一側設有第一氧氣含量分析儀（13），所述第一氧氣含量分析儀（13）一側設有第二氧氣含量分析儀（14），所述第二氧氣含量分析儀（14）一側設有第三氧氣含量分析儀（15），所述第三氧氣含量分析儀（15）一側設有氮氣接入管（16），所述氮氣接入管（16）上設有氮氣接入閥（17），所述外殼（1）側面設有控制柜（18），所述控制柜（18）內部設有觸摸屏（19），所述觸摸屏（19）底部設有PLC控制器（20），所述外殼（1）底部設有水平支撐架（21），所述水平支撐架（21）底部設有移動腳輪（22）。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路無氧真空儲存箱設備，其特征在于：所述外殼（1）側面設有門，所述門與外殼（1）之間、密封門（5）與存儲內膽（4）之間均設有硅橡膠密封條，所述硅橡膠密封條內部設有壓力傳感器，所述壓力傳感器型號設置為LPS25HBTR。

3.根據權利要求1所述的一種集成電路無氧真空儲存箱設備，其特征在于：所述存儲內膽（4）由SUS3304拉絲不銹鋼板制成，所述存儲內膽（4）內表面經過磨光處理，所述密封門（5）上設有矩形觀察窗，所述矩形觀察窗由鋼化玻璃材料制成。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路無氧真空儲存箱設備，其特征在于：所述第一工作室（2）和第二連接管（7）均通過管道與真空泵（11）連接。

5.根據權利要求1所述的一種集成電路無氧真空儲存箱設備，其特征在于：所述PLC控制器（20）型號設置為FX-30-48RM，所述第一氧氣含量分析儀（13）、第二氧氣含量分析儀（14）和第三氧氣含量分析儀（15）型號均設置為GAXT-X，所述數字式電阻真空計（12）型號設置為CVM-211，所述絕對壓力變送器（23）型號設置為SC3051AP。

6.根據權利要求1所述的一種集成電路無氧真空儲存箱設備，其特征在于：所述數字式電阻真空計（12）、第一氧氣含量分析儀（13）、第二氧氣含量分析儀（14）、第三氧氣含量分析儀（15）、絕對壓力變送器（23）和觸摸屏（19）均與PLC控制器（20）電性連接。